[发明专利]压电驱动式引线键合装置

权利要求书

1.一种压电驱动式引线键合装置，其特征在于，包括基座和设置在其上方的摆动平台；

在所述摆动平台和所述基座之间设有左右两根立柱和桥型放大机构，所述桥型放大机构居中布置在两根所述立柱之间；所述立柱的下端固定在所述基座的上表面前部，所述立柱的上端通过柔性铰链Ⅳ与所述摆动平台的下表面前部连接；

所述桥型放大机构包括平行设置的前后两根可动连杆，所述可动连杆与所述基座垂直；两根所述可动连杆的上端通过输出连桥连接，两根所述可动连杆的下端通过固定连桥连接；所述输出连桥包括设置在其中部的输出连杆，所述输出连杆的两端各通过一平行双杆机构Ⅰ与前后两根所述可动连杆的上端连接，所述平行双杆机构Ⅰ是采用柔性铰链Ⅰ连接形成的，两个所述平行双杆机构Ⅰ呈“八”字形前后对称布置；所述输出连杆的外侧通过柔性铰链Ⅲ与所述摆动平台的下表面后部连接；所述固定连桥包括设置在其中部的固定连杆，所述固定连杆的两端各通过一平行双杆机构Ⅱ与前后两根所述可动连杆的下端连接，所述平行双杆机构Ⅱ是采用柔性铰链Ⅱ连接形成的，两个所述平行双杆机构Ⅱ与两个所述平行双杆机构Ⅰ上下对称布置，所述固定连杆与所述基座固接；在前后两根所述可动连杆之间设有压电陶瓷驱动器，所述压电陶瓷驱动器设有预紧螺栓，所述预紧螺栓连接在任意一个所述可动连杆上；

在所述摆动平台的上表面前部居中安装有固定座，所述固定座与换能器固接，所述换能器包括与所述摆动平台的摆动轴垂直设置的变幅杆，在所述变幅杆的输入端设有超声压电振子，在所述变幅杆的输出端连接有与其垂直的劈刀。

2.根据权利要求1所述的压电驱动式引线键合装置，其特征在于，在所述变幅杆的中部周围设有安装法兰，所述安装法兰与所述变幅杆通过多根均布的柔性板状辐条连接，在多根所述柔性板状辐条中有上下对称布置的两根所述柔性板状辐条与所述劈刀平行，在与所述劈刀平行的任意一个所述柔性板状辐条上粘贴有键合力测量金属应变片；所述固定座采用剖分结构，所述安装法兰固装在所述固定座内。

3.根据权利要求1或2所述的压电驱动式引线键合装置，其特征在于，所述柔性铰链Ⅰ和所述柔性铰链Ⅱ均采用单边圆形缺口柔性铰链，在任意一个所述单边圆形缺口柔性铰链的外侧粘贴有位移测量金属应变片。