[发明专利]用于从种晶层表面去除污染的系统和方法在审
| 申请号： | 201510683974.9 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN105575751A | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 罗伊·沙维夫;伊斯梅尔·T·埃迈什 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/36 | 分类号： | H01J37/36 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 种晶层 表面 去除 污染 系统 方法 | ||
1.一种电化学沉积镀覆工具，所述工具包括：
(a)一个或多个电化学沉积腔室；和
(b)氢自由基H*生成腔室。
2.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室包括等离子氢自 由基H*生成源。
3.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室中的氢浓度在 2％至10％的范围内。
4.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室中的氢浓度为 100％。
5.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室具有10mT至 200mT范围内的压力范围。
6.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室具有大气压或亚 大气压范围内的压力。
7.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室包括热丝氢自由 基H*生成源。
8.根据权利要求7所述的工具，其中热丝温度大于1000℃。
9.根据权利要求7所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室具有在400W 或1200W范围内的功率。
10.根据权利要求1所述的工具，其中所述氢自由基H*生成腔室也被配置为将 工件退火。
11.根据权利要求1所述的工具，进一步包括单独的退火腔室。
12.根据权利要求1所述的工具，具有氮环境。
13.一种电化学沉积镀覆工具，所述工具包括：
(a)一个或多个电化学沉积腔室；和
(b)氢自由基H*生成腔室，所述氢自由基H*生成腔室包括等离子氢自由 基H*生成源和热丝氢自由基H*生成源中的至少一个，其中所述氢自由基 H*生成腔室被配置为将工件退火。
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