[发明专利]非接触法测量透镜中心厚的装置和方法有效
申请号: | 201510686823.9 | 申请日: | 2015-10-22 |
公开(公告)号: | CN105203036B | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 季荣 | 申请(专利权)人: | 茂莱(南京)仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 李倩 |
地址: | 211102 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接触法 测量 透镜 中心 装置 方法 | ||
1.非接触法测量透镜中心厚的装置,其特征在于,包括激光干涉仪以及位于所述激光干涉仪正上方的分光镜,所述激光干涉仪中设有CCD探测器,所述分光镜呈45°角设置,所述激光干涉仪发射出来的准直光经过所述分光镜后一束经过转向装置进入上部标准镜头,一束直接进入下部标准镜头,所述分光镜与所述上部标准镜头和下部标准镜头之间还设有遮光板,还包括用于放置待测透镜的调整平台和距离测量平台,所述调整平台位于所述上部标准镜头和下部标准镜头之间。
2.根据权利要求1所述的非接触法测量透镜中心厚的装置,其特征在于,所述距离测量平台包括一个千分尺。
3.根据权利要求1所述的非接触法测量透镜中心厚的装置,其特征在于,所述转向装置中包括多个转向反射镜。
4.一种采用权利要求1所述装置测量透镜中心厚度的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1,将已知厚度为A的平片放至调整平台上,用遮光板将上部标准镜头的光路挡住,调节调整平台的高度,通过激光干涉仪CCD探测器采集并显示的干涉图找到平片下表面的猫眼像位置,使下部标准镜头出射的会聚光焦点正好落在平片下表面;
步骤2,用遮光板将下部标准镜头的光路挡住,向上或向下调节上部标准镜头,通过激光干涉仪CCD探测器采集并显示的干涉图找到平片上表面的猫眼像位置,使上部标准镜头出射的会聚光焦点正好落在平片上表面;
步骤3,将距离测量平台上的千分尺数据归零,将待测透镜放至调整平台上,用遮光板将上部标准镜头的光路挡住,调节调整平台的高度,找到透镜下表面的猫眼像位置,使下部标准镜头出射的会聚光焦点正好落在透镜下表面;
步骤4,用遮光板将下部标准镜头的光路挡住,距离测量平台向上或向下调节上部标准镜头,找到透镜上表面的猫眼像位置,使上部标准镜头出射的会聚光焦点正好落在透镜上表面,记下千分尺上上部标准镜头移动的距离B;
步骤5,计算待测透镜的中心厚度d,d=A+B,其中,B向上移动为正值,向下移动为负值。
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