[发明专利]适于容纳流体供应容器及与之耦接的流路的罩壳

权利要求书

1.一种适于容纳流体供应容器以及与所述流体供应容器耦接的流路的罩壳，并且所述罩壳适于使通风气体流过所述罩壳，所述罩壳包括通风系统，所述通风系统包括：

流量调节器，所述流量调节器被布置为用于动态地调节通过所述罩壳的通风气流；

动态的监控组件，所述监控组件适于(i)监控所述流体供应容器、所述罩壳，或在所述流体供应容器中或从所述流体供应容器分配的流体的特征，该特征影响与自所述罩壳中的所述流体供应容器或关联的流路的流体泄漏相关的危险或风险的水平，以及(ii)输出与所监控特征相关联的监控信号；以及

控制器，所述控制器被布置为从所述监控组件接收所述监控信号，并相对于与自所述罩壳中的所述流体供应容器的流体泄漏相关的危险或风险的水平，基于来自于供应容器中的流体的分配过程中流体供应容器中流体的存量来响应性地调节所述流量调节器。

2.根据权利要求1所述的罩壳，其中，所述罩壳是气体箱。

3.根据权利要求2所述的罩壳，其中，所述气体箱容纳基于吸附剂的流体供应容器。

4.根据权利要求3所述的罩壳，其中，所述基于吸附剂的流体供应容器容纳从由以下项目组成的组中选择的流体：硅烷、乙硼烷、锗烷、氨、磷化氢、胂、锑化氢、硫化氢、硒化二氢、碲化氢、三氟化硼、B₂F₄、六氟化钨、氯气、氯化氢、溴化氢、碘化氢和氟化氢。

5.根据权利要求3所述的罩壳，其中，所述基于吸附剂的流体供应容器容纳氢化物气体。

6.根据权利要求3所述的罩壳，其中，所述基于吸附剂的流体供应容器容纳卤化物气体。

7.根据权利要求3所述的罩壳，其中，所述基于吸附剂的流体供应容器容纳气态有机金属化合物。

8.根据权利要求3所述的罩壳，其中，流体在低于大气压的压力下储存在所述流体供应容器中。

9.根据权利要求2所述的罩壳，其中，所述气体箱容纳内部压力调节流体供应容器。

10.根据权利要求9所述的罩壳，其中，所述内部压力调节流体供应容器容纳从由以下项目组成的组中选择的流体：硅烷、乙硼烷、锗烷、氨、磷化氢、胂、锑化氢、硫化氢、硒化二氢、碲化氢、三氟化硼、B₂F₄、六氟化钨、氯气、氯化氢、溴化氢、碘化氢和氟化氢。

11.根据权利要求9所述的罩壳，其中，所述内部压力调节流体供应容器容纳氢化物气体。

12.根据权利要求9所述的罩壳，其中，所述内部压力调节流体供应容器容纳卤化物气体。

13.根据权利要求9所述的罩壳，其中，所述内部压力调节流体供应容器容纳气态有机金属化合物。

14.根据权利要求1所述的罩壳，其中，所述罩壳是气瓶柜。

15.根据权利要求1所述的罩壳，其中，所监控的特征包括从由以下特征组成的组中选择的至少一个特征：所述流体供应容器中的流体存量；所述流体供应容器中的流体压力；所述流体供应容器下游的气体输送歧管中的流体压力；所述流体供应容器的壁中的应变；容纳所述流体的流体供应容器的重量；设置在所述流体供应容器的内部空间中的物理吸附剂的物理吸附特征；所述流体供应容器的温度；所述罩壳中的温度；从所述流体供应容器分配的流体的累积体积；从所述流体供应容器分配流体的持续时间；从所述流体供应容器分配的流体的流速；所述罩壳的出入结构的打开或关闭特征；以及与所述流体供应容器、流路、罩壳和/或消耗所分配流体的过程相关联的警报条件。