[发明专利]智能装载盒

权利要求书

1.一种智能装载盒，用于装载校准晶圆，其特征在于，该智能装载盒包括盒体部，所述盒体部具有六面且内部形成有用于装载所述校准晶圆的空间，在所述盒体部的表面上设置有用于显示校准晶圆信息的显示单元、用于设置所述校准晶圆信息的控制单元以及用于在所述校准晶圆放错位置时进行示警的警示单元。

2.如权利要求1所述的智能装载盒，其特征在于，所述显示单元、控制单元和警示单元位于同一面上。

3.如权利要求2所述的智能装载盒，其特征在于，所述显示单元位于所述盒体部的一面上方的中间位置处，所述警示单元和控制单元分别位于所述显示单元左右两侧。

4.如权利要求1-3之一所述的智能装载盒，其特征在于，所述校准晶圆的信息包括晶圆序号、种类、规格、适用的机台、有效期限中的一种或多种。

5.如权利要求4所述的智能装载盒，其特征在于，所述显示单元以第一颜色显示所述校准晶圆的信息。

6.如权利要求5所述的智能装载盒，其特征在于，所述显示单元以第二颜色显示超出使用期限的校准晶圆的信息。

7.如权利要求1-3之一所述的智能装载盒，其特征在于，还包括：通信单元，其用于与生产执行系统通信，

所述生产执行系统在判断所述校准晶圆放错位置时指示所述警示单元示警。

8.如权利要求7所述的智能装载盒，其特征在于，所述生产执行系统通过比较初始晶圆序号与通过电子货架获取的晶圆序号来判断所述校准晶圆是否放错位置。

9.如权利要求1所述的智能装载盒，其特征在于，所述控制单元包括用于提供密码设置和输入的密码保护模块，

所述控制单元仅当所述密码保护模块的输入密码正确时才能进行操作。