[发明专利]一种3D MEMS光开关阵列

权利要求书

1.一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于，包括：

输入端准直器阵列(1)、输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)、输出端MEMS 反射镜阵列芯片(6)及输出端准直器阵列(8)；

所述输入端准直器阵列(1)包括工作准直器C1,1到Cj,i，以及在X方向和 Y方向还包括对准用准直器1-1，1-2，1-3，1-4；

所述输出端准直器阵列(8)包括工作准直器C1,1到Cn,m，以及在X方向 和Y方向还包括对准用准直器8-1，8-2，8-3，8-4；

所述输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)，包括MEMS反射镜M1,1到Mj,i， 以及棱镜一(2)和棱镜二(4)，两个棱镜分别用来X方向对准和Y方向对准；

所述输出端MEMS反射镜阵列芯片(6)，包括MEMS反射镜M1,1到Mn,m， 以及棱镜三(5)和棱镜四(7)，两个棱镜分别用来X方向对准和Y方向对准。

2.根据权利要求1所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：所述输入 端准直器阵列(1)中，对准用准直器1-1和1-2用来X方向对准，对准用准直 器1-3和1-4用来Y方向对准，其规格可以与工作准直器规格相同，也可以不 相同；

所述输出端准直器阵列(8)中，对准用准直器8-1和8-2用来X方向对准， 对准用准直器8-3和8-4用来Y方向对准，其规格可以与工作准直器规格相同， 也可以不相同。

3.根据权利要求2所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：所述输入 端准直器阵列(1)中，对准用准直器1-1和1-2与所述输入端准直器阵列(1) 中C1,1之间的间距为定值，所述输入端准直器阵列1中，对准用准直器1-3和 1-4与所述输入端准直器阵列1中Cj,i之间的间距为定值；

所述对准准直器1-1，1-2，1-3，1-4与工作准直器之间的间距，利用微加工 刻蚀技术制作间距为0～1米的光纤阵列和透镜阵列来实现。

4.根据权利要求3所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：所述输出 端准直器阵列(8)中，对准用准直器8-1和8-2与所述输入端准直器阵列(8) 中C1,1之间的间距为定值，所述输入端准直器阵列(8)中，对准用准直器8-3 和8-4与所述输入端准直器阵列(1)中Cj,i之间的间距为定值；

所述对准准直器8-1，8-2，8-3，8-4与工作准直器之间的间距，利用微加工 刻蚀技术制作间距为0～1米的光纤阵列和透镜阵列来实现。

5.根据权利要求4所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：

所述输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)中，棱镜一(2)和棱镜二(4)与 MEMS反射镜M1,1到Mj,i之间的距离为0～1米之间，且两个棱镜与对准准直器 与工作准直器之间的间距相同；

所述输出端MEMS反射镜阵列芯片(6)中，棱镜三(5)和棱镜四(7)与 MEMS反射镜M1,1到Mn,m之间的距离为0～1米之间，且两个棱镜与对准准直 器与工作准直器之间的间距相同。

6.根据权利要求5所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：

所述的棱镜与MEMS反射镜之间的间距通过在MEMS反射芯片上利用微加 工刻蚀技术刻蚀图形标记定位来实现。

7.根据权利要求5所述的一种3DMEMS光开关阵列，其特征在于：

所述的输入端MEMS反射镜阵列芯片(3)与输出端MEMS反射镜阵列芯 片(6)中间插入凹面反射镜(9)或透镜(10)。