[发明专利]沉积用磁体检查装置

权利要求书

1.一种沉积用磁体检查装置，用于检查在沉积工艺中对准基板和掩模时使 用的磁体，包括：

掩模，由金属材料形成有规定的图案；

基板，对准安装于所述掩模的上面；

固定部，设置为使与所述掩模对准的所述基板的上面接触并被临时固定，在 所述固定部的内部沿上下方向可移动地收容有所述磁体；及

检查部，配置在所述掩模的下方，用于检测根据所述磁体和所述掩模之间距 离的磁通密度和图案的下垂现象中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的沉积用磁体检查装置，其中，进一步包括：

载物台部，设置有所述检查部，用于使所述检查部移动；及

基底部，由一对平台设置，所述一对平台彼此连接，并且分别设置有所述载 物台部和所述固定部。

3.根据权利要求2所述的沉积用磁体检查装置，其中，

所述固定部包括：

构架部，上面一部分向内侧凹陷而形成有收容空间；

固定板，被收容于所述收容空间内，设置为沿垂直方向可移动；及

磁体，安装于所述固定板的下面，N极和S极隔开规定间隔并被交替配置。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的沉积用磁体检查装置，其中，

所述固定部中的与所述基板接触的表面被蚀刻成压纹图案，以免在与所述基 板接触时产生静电。

5.根据权利要求4所述的沉积用磁体检查装置，其中，

所述检查部包括高斯检测部和形状检测部中的至少一个，所述高斯检测部用 于检测根据所述磁体和所述掩模之间距离的高斯分布；所述形状检测部用于检 测根据所述磁体和所述掩模之间距离的图案的下垂现象。