[发明专利]一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器

权利要求书

1.一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：包括写入光纤(5)内的FBG(1)，敏感膜片(2)，正对光纤出射端面的准直透镜(3)，带尾纤套筒(4)，光纤(5)，套管(6)；

套管(6)的一端端面上设置敏感膜片(2)，套管(6)内固定准直透镜(3)和带尾纤套筒(4)，带尾纤套筒(4)的尾纤穿出套管(6)的另一端与光纤(5)连接；

所述的FBG(1)和敏感膜片(2)构成F-P腔的一对反射镜；

所述的FBG(1)至光纤出射端面，准直透镜(3)，以及准直透镜(3)至敏感膜片(2)的空气腔共同组成了F-P的腔长。

2.根据权利要求1所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：所述的FBG(1)距离光纤出射端面6米，准直透镜(3)距离敏感膜片(2)为微米量级。

3.根据权利要求1所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：所述的光纤出射端面有一个倾角。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：所述的FBG(1)的反射率为85％以上。

5.根据权利要求4所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：所述的敏感膜片(3)的厚度100纳米至1微米，直径大小为150纳米至2.5毫米，对波长为1550纳米的光波反射率大于85％。

6.根据权利要求4所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：所述的准直透镜(3)端面上镀上一层增透膜。

7.根据权利要求1所述的一种基于FBG的膜片式高精细度F-P光纤声压传感器，其特征在于：传感器的输出信号采用PGC相位解调系统进行信号解调。