[发明专利]X射线产生源和荧光X射线分析装置

权利要求书

1.一种X射线产生源，其特征在于，该X射线产生源具备：

X射线管球，其对试样照射一次X射线；

壳体，其收纳所述X射线管球；

X射线照射区域限定机构，其限制从所述X射线管球照射的所述一次X射线对于所述试样的照射面积；以及

机构保持部，其在所述壳体上保持所述X射线照射区域限定机构，

所述X射线管球具备：

筐体，其内部保持真空；

电子线源，其作为阴极设置在所述筐体的内部，产生电子线；以及

靶部，其作为与所述电子线源对置的阳极设置在所述筐体的内部，基端固定在所述筐体上，并且，在突出的前端部被照射所述电子线，

所述机构保持部具有：

基端固定部，其在所述靶部的基端的正下方固定至所述壳体；以及

延伸支承部，其从所述基端固定部沿着所述靶部的突出方向延伸，支承所述X射线照射区域限定机构，

所述延伸支承部的延伸方向上的热膨胀率与所述靶部的突出方向上的热膨胀率相同，从所述延伸支承部的固定在所述壳体上的部分到所述X射线照射区域限定机构的中心轴的距离与从所述靶部的基端到所述前端部的X射线产生位置的距离相同。

2.根据权利要求1所述的X射线产生源，其特征在于，

所述延伸支承部由与所述靶部相同的材料形成。

3.根据权利要求1所述的X射线产生源，其特征在于，

所述机构保持部具有以能够热膨胀的方式在延伸方向上引导所述延伸支承部的引导部。

4.一种荧光X射线分析装置，其特征在于，该荧光X射线分析装置具有：

权利要求1所述的X射线产生源；以及

检测器，其检测从被照射所述一次X射线的所述试样产生的荧光X射线。