[发明专利]多通道微流控气压源

权利要求书

1.多通道微流控气压源，其特征在于，它包括供气气源(101)、进气微阀(102)、微流道(103)、流量传感器(104)、压力传感器(105)、微阀控制器(106)、排气微阀(107)和微阀驱动器(108)；

微流道(103)主管路的首末端分别为进气微流道和输出气体微流道，进气微流道和输出气体微流道之间的主管路上还设置有排气微流道这条支管路；进气微流道的管路上设置有进气微阀(102)，排气微流道的管路上设置有排气微阀(107)；

供气气源(101)的出口和微流道(103)的进气微流道入口连通，微流道(103)的输出气体微流道的出口设置有压力传感器(105)，微流道(103)内的气体经由压力传感器(105)的出口输出；

在输出气体微流道的管路上设置有流量传感器(104)；

流量传感器(104)的微流道内气体流量信号输出端与微阀控制器(106)的流量信号输入端相连；压力传感器(105)的微流道内气体压力信号输出端与微阀控制器(106)的压力信号输入端相连；微阀控制器(106)的开度指令输出端与微阀驱动器(108)的开度指令输入端相连，微阀驱动器(108)控制进气微阀(102)和排气微阀(107)的开度。

2.根据权利要求1所述多通道微流控气压源，其特征在于，供气气源(101)采用气泵、压缩空气源或者气瓶来实现。

3.根据权利要求1所述多通道微流控气压源，其特征在于，进气微阀(102)和排气微阀(107)的驱动方式为步进电机驱动，进气微阀(102)和排气微阀(107)为步进电机凸轮微阀。

4.根据权利要求1所述多通道微流控气压源，其特征在于，进气微阀(102)和排气微阀(107)采用步进电机凸轮微阀或步进电机丝杠微阀。