[发明专利]一种高效多晶硅铸锭工艺在审
| 申请号： | 201510704455.6 | 申请日： | 2015-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN105220227A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 李扬;王辉;王丙宽 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B28/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 多晶 铸锭 工艺 | ||
1.一种高效多晶硅铸锭工艺，包括装料抽真空并预热、熔化保温阶段、长晶阶段、退火阶段、降温阶段和开方阶段，其特征在于，所述熔化保温阶段和所述长晶阶段按照以下步骤进行：
S1、所述熔化保温阶段末期温度T10为1545℃～1560℃，所述温度T10在2.5h内平缓降至T20，T20为1400℃-1420℃，随后进入所述长晶阶段；
S2：所述长晶阶段包括若干个升降温循环步骤，最终到达温度T30，所述T30为1410℃-1417℃；
S3、所述温度T30在16h之内平缓降至T40，所述T40为1388℃-1395℃；之后进入所述退火阶段。
2.根据权利要求1所述的高效多晶硅铸锭工艺，其特征在于：步骤S2中所述的升降温循环步骤为：
A1：所述温度T20在4h之内平稳上升至T21，所述T21为1420℃；
A2：所述温度T21在3h之内平稳下降至T22，所述T22为1410℃-1415℃；
A3：所述温度T22在6h之内平稳上升至T23，所述T23为1415℃-1420℃；
A4：所述温度T23在9h之内平稳降低为T30。
3.根据权利要求2所述的高效多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述A2步骤中T22为1415℃，所述步骤A3中T23为1420℃。
4.根据权利要求1-3任一项所述的高效多晶硅铸锭工艺，其特征在于：在所述步骤S1中T10为1550℃，T20为1410℃。
5.根据权利要求4所述的高效多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述降温阶段是向铸锭炉内通入循环氩气冷却，控制降温速率为70℃/h，降至400℃以下后取出多晶硅锭。
6.根据权利要求4所述的高效多晶硅铸锭工艺，其特征在于：所述退火阶段是将多晶硅锭在1300℃～1370℃保温2～4h。
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