[发明专利]一种铜锑硫太阳能电池光吸收层薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种铜锑硫太阳能电池光吸收层薄膜的制备方法，其特征在于包括如下步骤：

将镀钼玻璃衬底置于多源热蒸发镀膜系统的衬底上并抽真空至5×10^-4Pa，将铜、锑和硫的束源炉温度分别升至1100-1200℃、500-600℃以及100-200℃并分别保持恒定；第一步，将衬底温度升温至200-300℃并保持恒定，向镀钼玻璃衬底表面蒸镀锑和硫10-15分钟；第二步，锑和硫蒸镀结束后，保持衬底温度不变并同时蒸镀铜、锑和硫30-40分钟；第三步，铜、锑和硫蒸镀结束后将衬底温度升温至350-450℃，再继续蒸镀锑和硫20-30分钟；锑和硫蒸镀结束后将衬底温度降至室温得到符合化学计量比的铜锑硫薄膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于：

衬底加热器的加热方式为非接触加热，加热器和衬底间保持1-5毫米间距，加热器通过红外热辐射的方式对衬底加热，确保衬底各处受热均匀。