[发明专利]一种显示面板及其制造方法有效
申请号: | 201510708800.3 | 申请日: | 2015-10-27 |
公开(公告)号: | CN105206570B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 龙芬 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/77 | 分类号: | H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示面板的制造方法,其特征在于,所述方法包括步骤:
提供一基板,在所述基板上形成黑矩阵;
在所述黑矩阵上依次形成半导体层和金属层;
通过光罩制程使所述金属层形成源极和漏极,使所述半导体层形成沟道,且所述源极和所述漏极间隔位于所述沟道上,所述沟道连接所述源极和所述漏极;所述光罩制程中的光罩采用灰阶光罩、半色调光罩或狭缝光罩,以一次形成所述源极、漏极和沟道;
在所述基板上利用两次沉积得到第一绝缘层,其中第一次慢速沉积较薄的绝缘层,第二次快速沉积较厚的绝缘层;
在所述第一绝缘层上形成间隔设置的多个彩色光阻,且使得所述源极、漏极和沟道位于两个相邻的所述彩色光阻之间;
由同一道制程形成栅极和公共电极,且使得所述栅极形成于两个相邻的所述彩色光阻之间的第一绝缘层上,所述公共电极形成于所述彩色光阻上;
在所述栅极和公共电极上形成第二绝缘层,所述第二绝缘层具有一连通所述源极的通孔;
在所述第二绝缘层上形成像素电极,所述像素电极通过所述通孔与所述源极接触,所述像素电极进一步与所述公共电极形成存储电容。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,所述形成间隔设置的多个彩色光阻的步骤包括:
形成多个红色光阻、绿色光阻以及蓝色光阻,且在所述基板上以红色光阻、绿色光阻以及蓝色光阻的顺序依次排列。
3.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括设置有源极、漏极和沟道的基板,第一绝缘层,多个彩色光阻,栅极,公共电极,第二绝缘层以及像素电极;
所述基板上设置有黑矩阵,所述沟道位于所述黑矩阵上,所述源极和所述漏极间隔位于所述沟道上,所述沟道连接所述源极和所述漏极;
其中,所述第一绝缘层通过两次沉积形成在所述基板上,第一次通过慢速沉积形成较薄的绝缘层,第二次通过快速沉积形成较厚的绝缘层;
所述多个彩色光阻形成于所述第一绝缘层上,且间隔设置,所述源极、漏极和沟道位于两个相邻的所述彩色光阻之间;
所述栅极和所述公共电极由同一道制程形成,且所述栅极位于两个相邻的所述彩色光阻之间的第一绝缘层上,所述公共电极位于所述彩色光阻上;
所述第二绝缘层形成于所述栅极和所述公共电极上,且所述第二绝缘层具有一连通所述源极的通孔;
所述像素电极形成于所述第二绝缘层上,所述像素电极通过所述通孔与所述源极接触,所述像素电极进一步与所述公共电极形成存储电容。
4.根据权利要求3所述的显示面板,其特征在于,所述彩色光阻包括在所述基板上依次排列的红色光阻、绿色光阻以及蓝色光阻。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造