[发明专利]一种波纹管运动密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造设备，即离子注入机，特别是一种波纹管运动密封装置，属半导体设备领域。

背景技术

随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，离子注入元素的种类更多，离子注入设备的应用范围更广，其可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件如SiC电子器件制造等领域，并要求离子注入设备自动化程度较高，操作简单方便，工作稳定。

现有的引出电极驱动装置可实现大部分离子元素的引出，其运动密封方式大多采用滑动密封，本波纹管运动密封装置采用焊接波纹管连接密封方式，具有运动平稳可靠，真空度好的优点。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种波纹管运动密封装置，装置具有良好的运动平稳性和密封性，方便后续离子注入工艺调试。

一种波纹管运动密封装置，包括：波纹管密封模块(1)、电机(2)、运动轴(3)、运动齿条(4)。其中运动齿条(4)安装在运动轴(3)上，经电机(2)运转带动运动齿条(4)及运动轴(3)运动。波纹管密封模块(1)安装在运动轴(3)上，运动轴(3)在真空与大气之间运动，通过安装在运动轴(3)上的波纹管密封模块(1)隔绝真空与大气。波纹管密封模块(1)通过压紧块(5)与焊接波纹管(7)将O型密封圈(6)固定在运动轴(3)上实现密封作用。焊接波纹管(7)为可伸缩性密封波纹管，与运动轴(3)一起进行上下往复的伸缩运动。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：本发明结构紧凑，拆装维护方便；并且该装置在保证良好密封性条件下，具有良好的运动平稳性和密封性，方便后续离子注入工艺调试。

附图说明

图1为本发明实施例结构示意图；

图2为波纹管密封模块结构示意图；

具体实施方式

如图1所示：运动齿条(4)安装在运动轴(3)上，经电机(2)运转带动运动齿条(4)及运动轴(3)运动。波纹管密封模块(1)安装在运动轴(3)上，运动轴(3)在真空与大气之间运动，通过安装在运动轴(3)上的波纹管密封模块(1)隔绝真空与大气。

如图2所示：波纹管密封模块(1)通过压紧块(5)与焊接波纹管(7)将O型密封圈(6)固定在运动轴(3)上实现密封作用。

如图2所示：焊接波纹管(7)为可伸缩性密封波纹管，与运动轴(3)一起进行上下往复的伸缩运动。