[发明专利]一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法在审
| 申请号： | 201510710269.3 | 申请日： | 2015-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106653543A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王高腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/147 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 广泛 适用 离子束 偏转 元件 设计 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，包括：电偏转极板入口宽度d1；电偏转极板出口宽度d2；电偏转极板沿束流方向长度a；束流经过电偏转后的期望偏转角度α。
2.如权利要求1所述的一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，其特征在于，根据设计参量：偏转板入口宽度d1、束出偏转板时的期望偏转角α、束能量Ua、偏转电压±U，即可求出偏转板沿束流方向的长度、偏转板出口宽度d2及偏转板的形状。
3.如权利要求1所述的一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，其特征在于，所需计算参量很少，所求得的偏转板形状具有广泛适用性。
4.如权利要求1所述的一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，其特征在于，根据所需计算参量求得的偏转板形状，当偏转板所加电压线性变化时，偏转板出口处的束流角度也线性变化，即所设计的偏转板具有很好的线性度。
5.如权利要求1所述的一种广泛适用的离子束电偏转元件设计方法，其特征在于，根据所需计算参量求得的偏转板形状，对斑点离子束具有最大灵敏度。
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