[发明专利]基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪

权利要求书

1.一种基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，包括激光器(1)、沿该激光器出射光束光路上依次放置的扩束准直系统(2)、起偏器(3)、第一四分之一波片(4)和聚焦透镜(5)，以及位于该聚焦透镜(5)焦点处的衍射模板(6)，其特征在于，沿所述的衍射模板(6)一部分衍射光束光路上依次设置有第二四分之一波片(7)和被测件(8)，沿该衍射模板(6)另一部分衍射光束光路上依次设置有成像透镜(9)、微偏振片阵列(10)和感光元件(11)；由所述的衍射模板(6)衍射的一部分衍射光经第二四分之一(7)波片到达被测件(8)后被反射，该被测件(8)反射的光再次经过第二四分之一波片(7)到达衍射模板(6)后反射，该被衍射模板(6)反射的光经成像透镜(9)和微偏振片阵列(10)被感光元件(11)接收；由所述的衍射模板(6)的衍射的另一部分衍射光直接经成像透镜(9)和微偏振片阵列(10)被感光元件(11)接收；所述微偏振片阵列(10)单元尺寸与感光元件(11)像素尺寸相同，即一一对应关系,微偏振片阵列(10)集成在感光元件(11)靶面上，并且两者的单元相互对准。

2.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，其特征在于：所述的微偏振片阵列的每相邻2×2单元的透偏振方向分别为0°，45°，90°和135°。

3.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的动态点衍射干涉仪，其特征在于：所述的衍射模板(6)包括玻璃基底(61)、金属反射膜(62)和衍射针孔(63)，所述的金属反射膜(62)镀于玻璃基底(61)上，所述的衍射针孔(63)设置于金属反射膜(62)的中心；聚焦透镜(5)出射的光束依次经过玻璃基底(61)和金属反射膜(62)上的衍射针孔(63)。