[发明专利]均匀化氮化硼涂层的制备方法

权利要求书

1.一种均匀化氮化硼涂层的制备方法，其特征在于该方法的具体步骤为：

a.将待涂样品放入沉积模具中沉积区内；通入反应气体三氯化硼、氨气；三氯化硼和氨气分别由两个进气口通入，在进入模具之前不发生接触；气体在等温混合区混合均匀；混合均匀后，气体进入沉积区，在沉积温度为300~1800℃，系统压力为1~300mbar下，发生沉积，沉积时间为0.5h~20h，最后在待涂样品表面得到均匀的氮化硼涂层；所述的三氯化硼和氨气的气体流量比为[NH₃]/[BCl₃]=1：1～30；

b.沉积反应结束后，对所得氮化硼涂层样品进行高温热处理，热处理温度为1200~2000℃，时间为0.5h~5h，得到六方氮化硼涂层。

2.根据权利要求1所述的均匀化氮化硼涂层的制备方法，其特征在于所述的反应气体中还有载气和稀释气体；所述的载气为氮气或氩气中的至少一种，该载气与三氯化硼同一进气口进入混合区，气体流量比为[载气]:[BCl₃]=1:1~120；所述的稀释气体为氢气，气体流量比为[载气]:[BCl₃]=1:1~100。