[发明专利]真空硒化装置和真空硒化的方法

权利要求书

1.一种真空硒化装置，所述真空硒化装置为一体化物理气相沉积溅射设备，其特征在于，包括：

本体，所述本体内限定出真空硒化空间；

基体，所述基体位于所述真空硒化空间；

硒蒸汽供给单元，所述硒蒸汽供给单元与所述本体相连，且适于向所述真空硒化空间中供给硒蒸汽；

硒蒸汽回收单元，所述硒蒸汽回收单元可拆卸地设置在所述本体的内壁上，所述硒蒸汽回收单元包括壳体以及冷却单元，所述冷却单元设置在所述壳体上；以及

真空泵，所述真空泵设置在所述本体的外壁上，并且所述真空泵与所述硒蒸气回收单元通过连接法兰相连，所述真空泵为分子泵。

2.根据权利要求1所述的真空硒化装置，其特征在于，所述硒蒸汽回收单元进一步包括：

进气口，所述进气口设置在所述壳体的侧壁上；

多个隔板，所述多个隔板设置在所述壳体的内壁上；

过滤网，所述过滤网设置在所述壳体上与所述进气口相对的侧壁上；以及

出气口，所述出气口设置在所述壳体上，并且所述出气口与所述真空泵连通。

3.根据权利要求1所述的真空硒化装置，其特征在于，所述冷却单元包括水冷管，所述水冷管设置在所述壳体上。

4.根据权利要求1所述的真空硒化装置，其特征在于，所述冷却单元包括水冷壁，所述水冷壁设置在所述壳体上。

5.一种利用权利要求1～4任一项所述的真空硒化装置进行真空硒化的方法，其特征在于，包括：

采用所述硒蒸汽供给单元向所述本体的真空硒化空间中供给硒蒸汽，以便使得所述硒蒸汽与所述基体发生硒化反应；以及

在采用所述真空泵排出所述真空硒化空间中剩余的硒蒸汽之前，预先采用所述硒蒸汽回收单元回收所述剩余的硒蒸汽。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，进一步包括：

采用所述硒蒸汽回收单元回收所述剩余的硒蒸汽时，采用冷却单元对所述硒蒸汽回收单元进行冷却。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述真空硒化空间中的真空度不高于1.5Pa。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述真空硒化空间中的压力为0.7～1.5Pa。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述硒蒸汽回收单元的温度不高于200摄氏度。

10.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述硒蒸汽回收单元的硒回收率为60％～80％。