[发明专利]一种电子级硝酸吹白装置及电子级硝酸吹白方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种电子级硝酸吹白装置及电子级硝酸吹白方法，属于电子级硝酸生产技术领域。

背景技术

电子级试剂又称为微电子化学品，是电子加工过程中不可缺少的关键材料之一。电子级试剂的纯度对所加工的电子产品的性能和可靠性起着重要的作用，因此电子级试剂的制备过程显得意义重大。

电子级硝酸的制备一般是先精馏出浓度高于70％的高纯硝酸，然后用超纯水将高纯硝酸稀释到需要的浓度，通常是65％-68％，稀释过程中会产生大量的二氧化氮气体，这些二氧化氮气体很容易掺在硝酸溶液中，二氧化氮气体呈红棕色，使硝酸溶液也显示一定的颜色，传统的电子级硝酸制备过程中通常需要对制得的硝酸溶液在吹白塔内进行脱色吹白处理。一般是在硝酸溶液中通入高纯氮气吹出二氧化氮，并将含二氧化氮的氮气进行尾气处理，避免污染环境。但是，传统的吹白工艺需要消耗大量的高纯氮气，大大增加了电子级硝酸的制备成本。而且，在硝酸的吹白过程中，由于使用的吹白气体的量较大，流速较大，处理的尾气的压强也较高，在工艺条件发生变化时，很容易发生倒吸，倒吸的高浓度酸液进入系统中的其他设备，会导致设备严重损坏。

为了减少高纯氮气的用量，降低电子级硝酸的制备成本，一般采取压缩空气来替代或者部分替代高纯氮气。

申请公布号为CN102001635A的中国发明专利申请(申请公布日为2011年4月6日)公开了一种超高纯硝酸的制备工艺，并具体公开了将配制好的69-70％的硝酸用净化供气吹白，经吹扫氮氧化物被饱和氢氧化钠水溶液吸收。该方案采用净化空气替代高纯氮气，大大降低了生产成本。但是，上述方案仍旧没有解决酸液倒吸的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子级硝酸吹白装置，以解决现有技术中硝酸吹白过程中酸液容易倒吸的问题。

为了实现以上目的，本发明的电子级硝酸吹白装置的技术方案如下：

一种电子级硝酸吹白装置，包括吹白塔，其特征在于，所述吹白塔上连接有用来提供高纯压缩空气的空气转换箱，所述吹白塔上连接有用来将吹白后的气体排出的真空喷射装置。

本发明的电子级硝酸吹白装置在吹白塔上连接空气转换箱，并由空气转换箱为吹白塔提供高纯压缩空气，可以在吹白过程中利用空气转换箱为气体提供缓冲，避免了酸液倒吸造成危害。另外，在吹白塔上连接真空喷射装置，能够为整个吹白装置内部提供负压环境，便于空气转换箱中的空气进入吹白塔，也提高了尾气的排放效率，降低了尾气的气体压力。

所述吹白塔与真空喷射装置之间依次连接有一级缓冲罐和二级缓冲罐，一级缓冲罐与吹白塔连接，所述一级缓冲罐中装有水，二级缓冲罐中装有碱液。一级缓冲罐和二级缓冲罐一方面能够充分除去尾气中的氮氧化合物，另一方面还能为装置中的气体提供缓冲，防止发生倒吸现象。

所述二级缓冲罐与真空喷射装置之间连接有空储罐，空储罐能够进一步防止倒吸。

所述碱液为质量分数为2％-5％的氢氧化钠溶液。

所述吹白塔的数量为两个以上，多个吹白塔并联连接，即多个吹白塔均与同一个空气转换箱相连，由一个空气转换箱向多个吹白塔提供洁净压缩空气。极大地节省了设备投资，降低了生产成本。

本发明的电子级硝酸吹白方法的技术方案如下：

一种使用如权利要求1所述的吹白装置的电子级硝酸吹白方法，包括：空气转换箱中的压缩空气进入吹白塔对硝酸进行吹白，吹白塔中产生的气体进入真空喷射装置并被喷出。

本发明的电子级硝酸吹白方法操作简单，安全性高，生产成本较低。

所述吹白塔中产生的气体依次进入一级缓冲罐和二级缓冲罐进行吸收后进入真空喷射装置，所述一级缓冲罐中装有水，二级缓冲罐中装有碱液。一级缓冲罐和二级缓冲罐一方面能够充分除去尾气中的氮氧化合物，另一方面还能为装置中的气体提供缓冲，防止发生倒吸现象。

所述碱液为质量分数为2％-5％的氢氧化钠溶液。

本发明的电子级硝酸吹白装置能够充分防止发生倒吸，提高了吹白装置的安全性，还提高了吹白工艺的效率，降低了生产成本，适合于大规模工业化生产使用。

附图说明

图1为本发明的电子级硝酸吹白装置的实施例的示意图。

具体实施方式

本发明的电子级硝酸吹白装置的实施例：