[发明专利]闪烁器面板、放射线检测器及它们的制造方法

说明书

本发明提供一种可以提供清晰性更优异放射线图像的闪烁器面板、放射线检测器及它们的制造方法。一种闪烁器面板，其含有支持体和在所述支持体上所形成的闪烁器层，所述闪烁器层含有荧光体，所述荧光体为多个柱状晶体，位于所述闪烁器层的柱状晶体生长开始面的所述多个柱状晶体的根部彼此以相互独立的形态存在，所述闪烁器层的、从柱状晶体生长开始面至高度5μm的厚度区域中的放射线吸收率x为5.4～8.6％。

技术领域

本发明涉及一种在形成放射线图像时所使用的闪烁器面板、放射线检测器及它们的制造方法。

背景技术

目前，X射线图像那样的放射线图像在医疗现场被广泛用于症状的诊断。尤其是利用敏感纸-薄膜类的放射线图像，在慢长的历史中谋求高灵敏度化和高画质化，结果，制成了同时具有高可靠性和优异的性价比的拍摄系统，现在仍然在世界的医疗现场被使用。但是，这些图像信息为所谓的模拟图像信息，不能像目前正在发展的数字图像信息那样自由地进行图像处理或瞬时进行电子传送。

近年来，以计算机X线成像(computed radiography：CR)或平板型的放射线探测器(flat panel detector：FPD)等为代表的数字方式的放射线检测器出现。用这些放射线检测器直接得到数字的放射线图像，可以在利用了阴极管的面板或液晶面板等图像显示装置中直接显示图像，因此，不需要在照相薄膜上形成图像。其结果，这些数字方式的放射线检测器例如X射线检测器使利用银盐照相方式来形成图像的必要性降低，使医院或诊疗所中的诊断操作的便利性大幅度地提高。

作为与X射线图像有关的数字技术之一，计算机X线成像(CR)在现在医疗现场被接受。但是，CR中得到的X射线图像与利用银盐照相方式等的屏幕·薄膜系统的图像相比，清晰性不充分，空间分辨率也不充分，其画质水平没有达到屏幕·薄膜系统的画质水平。因此，作为更新的数字X射线图像技术，例如开发了使用薄膜晶体管(TFT)的平板X射线检测器(Flat panel detector，FPD)。

就上述FPD而言，其原理上，为了将X射线转换为可见光，使用具有荧光体层的闪烁器面板，所述荧光体层由具有将所照射的X射线转换为可见光而发光的特性的X射线荧光体制成，但在使用低照射量的X射线源的X射线摄影中，为了提高由闪烁器面板检测到的信号和噪音之比(SN比)，必需使用将X射线转变为可见光的转换率即发光效率高的闪烁器面板。通常，闪烁器面板的发光效率由荧光体层的厚度、荧光体的X射线吸收系数决定，但荧光体层的厚度越厚，通过X射线照射在荧光体层内产生的发光越容易在闪烁器层内发生散射，经由闪烁器面板得到的X射线图像的清晰性降低。因此，如果设定X射线图像的画质所需要的清晰性，那么，闪烁器面板中荧光体层的膜厚的限度自然而然地被确定。

在此，荧光体也称为闪烁器，荧光体层也称为闪烁器层。

另外，为了得到亮度高、可以提供清晰性优异的X射线图像的闪烁器面板，构成荧光体层的荧光体的形状也非常重要。在许多闪烁器面板中，作为构成闪烁器层的荧光体，采用具有柱状晶体形状的荧光体，通常，具有在基板或支持体等上配置多个这种柱状晶体而成的结构。这里，构成闪烁器层的柱状晶体均具有相对于基板或支持体等的主面垂直延伸的形状，从而可以使其中产生的荧光即发光沿着相对于基板或支持体等的主面垂直的方向有效地放出。在闪烁器层中采用了这种布局的闪烁器面板可以较高地维持上述亮度和清晰性，同时，也可以较高地维持相对于基板或支持体等垂直的方向上的强度。需要说明的是，“相对于基板或支持体等垂直的方向”以下有时称为“膜厚方向”。

近年来，进行了各种着眼于构成闪烁器层的荧光体的晶体形状的研究或尝试。