[发明专利]麦克风及其制备方法

权利要求书

1.一种制造麦克风的方法，包括以下步骤：

制备具有第一和第二相对表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相对表面上形成具有氧化物膜和多个槽的振动膜；

在所述振动膜之上形成各自具有第一和第二相对表面的牺牲层和固定膜，然后形成贯通所述固定膜的多个进气孔；

放置要与所述固定膜连接的第一衬垫、要与所述振动膜连接的第二衬垫、以及用于与相位延迟部件接合的结合衬垫；

通过蚀刻所述第一基底的第二相对表面形成第一穿透孔，并通过部分蚀刻所述氧化物膜和所述牺牲层在所述固定膜与所述振动膜之间形成空气层；以及

将相位延迟部件接合到所述结合衬垫上，

其中所述相位延迟部件通过以下步骤形成：

制备具有第一和第二相对表面的第二基底，然后通过蚀刻所述第二基底的第二相对表面形成沟槽；

形成多个贯穿所述第二基底的沟槽和第一相对表面的第二穿透孔；

将催化剂沉积在所述第二基底的第一相对表面和第二穿透孔；以及

用所述催化剂合成碳纳米管CNT。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述形成进气孔的步骤包括：

在所述牺牲层的第一相对表面上形成多个第一凹坑和在所述固定膜的第一相对表面上形成多个第二凹坑；以及

在所述固定膜的第二相对表面上形成多个突起，

其中所述突起纳入所述牺牲层的第一凹坑中。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

通过用金属的共晶结合执行所述第一衬垫、所述第二衬垫或所述结合衬垫的放置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述催化剂包括铁Fe。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述合成CNT的步骤包括用化学气相沉积CVD设备将氨气NH₃和乙炔气C₂H₂在700℃的温度下注入石英管。

6.一种制造麦克风的方法，包括以下步骤：

制备具有第一和第二相对表面的第一基底，然后在所述第一基底的第一相对表面上形成具有氧化物膜和多个槽的振动膜；

在所述振动膜之上形成各自具有第一和第二相对表面的牺牲层和固定膜，然后形成贯穿所述固定膜的多个进气孔；

放置要与所述固定膜连接的第一衬垫、要与所述振动膜连接的第二衬垫、和用于与相位延迟部件接合的结合衬垫；

通过蚀刻所述第一基底的第二相对表面形成第一穿透孔，并通过部分蚀刻所述氧化物膜和所述牺牲层在所述固定膜与所述振动膜之间形成空气层；以及

将相位延迟部件接合到所述结合衬垫上；

其中所述相位延迟部件通过以下步骤形成：

制备具有第一和第二相对表面的第二基底，然后通过蚀刻所述第二基底的第二相对表面形成沟槽；

形成贯穿所述第二基底的沟槽和第一相对表面的多个第二穿透孔；

将氧化锌纳米颗粒沉积在所述第二基底的沟槽、顶部和第二穿透孔中；以及

用水热合成在沉积有氧化锌纳米颗粒的所述第二基底中生长氧化锌纳米线。

7.根据权利要求6所述的方法，其中在所述沉积氧化锌纳米颗粒的步骤中，所述氧化锌纳米颗粒溶解在乙醇中。

8.根据权利要求6所述的方法，其中在所述水热合成中，使用由硝酸锌、六亚甲基四胺HMTA和聚乙烯亚胺PEI组成的水溶液。