[发明专利]基板传送装置及基板曝边方法

权利要求书

1.一种基板传送装置，其特征在于，包括传送平台(1)、相对设于传送平台(1)两侧上方的第一、第二曝边模组(21、22)、及沿传送平台(1)的传送方向间隔设于传送平台(1)下方的第一、第二定位柱(31、32)；

所述传送平台(1)用于传送基板(4)；所述基板(4)具有第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)，所述第一边缘(41)与第四边缘(44)相对且与传送平台(1)的传送方向垂直，所述第二边缘(42)与第三边缘(43)相对且与传送平台(1)的传送方向一致；所述第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)上具有待曝光的残留光阻；

所述第一定位柱(31)位于第一、第二曝边模组(21、22)之间；所述第一、第二定位柱(31、32)能够相对于传送平台(1)上升与下降；所述第一、第二定位柱(31、32)之间的距离与基板(4)在传送方向上的尺寸相适应；

当基板(4)停靠于第一定位柱(31)处时，基板(4)的第一边缘(41)位于第一、第二曝边模组(21、22)的下方；当传送平台(1)带动基板(4)经过第一定位柱(31)向第二定位柱(32)移动时，基板(4)的第二、第三边缘(42、43)分别经过第一、第二曝边模组(21、22)的下方；当基板(4)停靠于第二定位柱(32)处时，基板(4)的第四边缘(44)位于第一、第二曝边模组(21、22)的下方；从而实现在基板(4)的传送过程中，通过第一、第二曝边模组(21、22)对基板(4)的第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)上的残留光阻进行曝光。

2.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一、第二曝边模组(21、22)的光源均为水银灯。

3.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述传送平台(1)包括相互间隔且平行的数个转轴(11)、及分别设于所述数个转轴(11)上的多个滚轮(12)。

4.如权利要求3所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一、第二定位柱(31、32)分别位于相邻的两个转轴(11)之间。

5.如权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一、第二定位柱(31、32)各连接一气缸，通过所述气缸控制所述第一、第二定位柱(31、32)上升与下降。

6.一种基板曝边方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一基板传送装置及基板(4)；

所述基板传送装置包括传送平台(1)、相对设于传送平台(1)两侧上方的第一、第二曝边模组(21、22)、及沿传送平台(1)的传送方向间隔设于传送平台(1)下方的第一、第二定位柱(31、32)；

所述第一定位柱(31)位于第一、第二曝边模组(21、22)之间；所述第一、第二定位柱(31、32)能够相对于传送平台(1)上升与下降；所述第一、第二定位柱(31、32)之间的距离与基板(4)在传送方向上的尺寸相适应；

所述基板(4)具有第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)，所述第一边缘(41)与第四边缘(44)相对且与传送平台(1)的传送方向垂直，所述第二边缘(42)与第三边缘(43)相对且与传送平台(1)的传送方向一致；所述第一、第二、第三、第四边缘(41、42、43、44)上具有待曝光的残留光阻；

步骤2、将所述基板(4)放置于所述传送平台(1)上进行传送，并控制第一定位柱(31)上升；

步骤3、所述基板(4)被第一定位柱(31)截住，停靠于第一定位柱(31)处，控制第一曝边模组(21)或第二曝边模组(22)对基板(4)的第一边缘(41)进行曝光；

步骤4、所述基板(4)的第一边缘(41)曝光完毕后，控制第一定位柱(31)下降，传送平台(1)继续传送基板(4)，在传送过程中分别通过第一、第二曝边模组(21、22)对基板(4)的第二、第三边缘(42、43)进行曝光，并控制第二定位柱(32)上升；

步骤5、所述基板(4)的第二、第三边缘(42、43)曝光完毕，基板(4)被第二定位柱(32)截住，停靠于第二定位柱(32)处，控制第一曝边模组(21)或第二曝边模组(22)对基板(4)的第四边缘(44)进行曝光；

步骤6、所述基板(4)的第四边缘(44)曝光完毕，控制第二定位柱(32)下降，通过传送平台(1)将曝边后的基板(4)传送至下一制程。