[发明专利]一种栅极电镀方法

权利要求书

1.一种栅极电镀方法，其特征在于，主要包括以下步骤：

第一步，将栅极进行电解抛光处理；

第二步，将经第一步处理的栅极上的钽铌带安装隔离物；

第三步，将经第二步处理的栅极在电镀液中进行电镀；

第四步，将经第三步处理的栅极上的隔离物拆除。

2.根据权利要求1所述的一种栅极电镀方法，其特征在于：所述电镀液的主要成分为：氯铂酸70-90g/L、浓盐酸40-50ml/L、醋酸120-140ml/L、醋酸铅0.4-0.5g/L。

3.根据权利要求1或2所述的一种栅极电镀方法，其特征在于：所述隔离物为与栅极适配的模具，所述模具为有机玻璃材质，所述模具包括螺钉、螺母、盖板，所述盖板为圆形，盖板边缘设置有向下的凸圈，所述凸圈内径与栅极外径适配，所述凸圈的高度为5mm，所述螺钉与栅极的栅帽中心通孔适配，所述螺钉头部外径与栅极内径适配，所述盖板中心设置有与螺钉适配的通孔，所述螺母与螺钉适配。

4.根据权利要求3所述的一种栅极电镀方法，其特征在于：所述模具还配有支座，所述支座为圆柱形，支座直径小于栅极的内径，支座高度大于栅极的高度，支座底部设置有直径大于支座直径的底盘。

5.根据权利要求4所述的一种栅极电镀方法，其特征在于：所述第二步中，首先将所述支座放置在水平面上，然后将所述螺钉倒放在支座上，再将栅极套在支座上，使螺钉的尾部从栅帽的中心通孔中穿出，再将盖板套在栅极上，使螺钉的尾部从盖板的中心孔中穿出，最后用所述螺母将模具连接在栅极上，持取模具，将栅极与模具一起从支座上取下。

6.根据权利要求4所述的一种栅极电镀方法，其特征在于：所述第四步中，首先将栅极与模具一起放置在支座上，拆去螺母，再拆去所述盖板，最后取下栅极。