[发明专利]一种晶棒表面浆料回收的前处理装置

权利要求书

1.一种晶棒表面浆料回收的前处理装置，其特征为，包括脱胶车、浸泡槽壁和浆料回收桶，所述脱胶车包括车架，所述车架为框架结构，车架底部设有四个车轮，车架顶部设有操作平台，所述操作平台上向内凹陷的设有矩形结构的第一凹槽，所述浸泡槽壁固定在操作平台上，包绕在第一凹槽外部，与第一凹槽结合形成一个完整的浸泡槽，所述浸泡槽的体积为110L；

所述第一凹槽上放液口，放液口通过放液管道与浆料回收桶相连接，所述放液口上设有阀门。

2.如权利要求1所述的一种晶棒表面浆料回收的前处理装置，其中，所述前处理装置的前处理方法如下：

（1）在浸泡槽中注入50KG的水；

（2）将1刀长度为900mm的含有浆料的晶棒浸没在水中，5min后将晶棒取出；

（3）重复步骤（2）的操作，此时，晶棒表面浆料中的聚乙二醇溶解在水中，浆料中的碳化硅悬浮在水中，形成浑浊的浸泡液；

（4）24h后，打开晶棒表面浆料回收的前处理装置的阀门，将浸泡液通过放液管道收集至浆料回收桶中；

（5）重复步骤（1）（2）（3）（4）的操作，直至浆料回收桶中的浸泡液达到1t，此时，将收集到的浆料进行回收处理即可。