[发明专利]一种扩散炉炉体调节装置

说明书

本发明公开了一种扩散炉炉体调节装置，包括固定座、调节座以及用于支撑所述扩散炉炉体的第一支撑件和第二支撑件，所述调节座包括水平调节支座和高度调节支座，所述第一支撑件安装于水平调节支座上，所述第二支撑件安装于高度调节支座上，所述水平调节支座可沿固定座移动地安装于固定座上，所述高度调节支座可沿水平调节支座移动地安装于水平调节支座上并带动第二支撑件靠近或远离第一支撑件。本发明具有调节方便、调节精度和准确度高的优点。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备工艺中的扩散加工技术领域，尤其涉及一种扩散炉炉体调节装置。

背景技术

扩散炉主要用于硅片太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺，炉体是扩散、氧化工艺的反应腔室，炉体为圆柱形，需要固定在支撑梁上。为能保证推舟送片机构顺利送入炉体，就必须将炉体与推舟送片机构的相对位置调正。由于推舟送片机构是固定在送料滑台上的，无法调节它与炉体的相对位置，因此，要想将炉体与之调正，就只能对炉体位置进行调节。炉体长度一般在2米左右，外径一般在0.3-0.6米之间，重量约50-100公斤，体型较大而且较为沉重，人力调节很费劲，也不准确。

现有炉体调节装置由四个坡面支架托起并固定炉体，需要用人力移动坡面支架，极为费力，也很不准确，调节距离完全凭目测；而且需要调节炉体两侧的坡面支架，受炉体柜结构需要，炉体的一侧是开放的，另一侧是封闭的，调节封闭一侧的坡面支架时就只能从开放的那 一侧放入工具进行操作，因此，调节封闭一侧的三角形支撑块就非常不方便。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、调节方便、调节精度和准确度高的扩散炉炉体调节装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种扩散炉炉体调节装置，包括固定座、调节座以及用于支撑所述扩散炉炉体的第一支撑件和第二支撑件，所述调节座包括水平调节支座和高度调节支座，所述第一支撑件安装于水平调节支座上，所述第二支撑件安装于高度调节支座上，所述水平调节支座可沿固定座移动地安装于固定座上，所述高度调节支座可沿水平调节支座移动地安装于水平调节支座上并带动第二支撑件靠近或远离第一支撑件。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述第一支撑件和第二支撑件为支撑圆杆。

所述固定座上设有第一调节块，所述水平调节支座的一端设有第二调节块，所述第一调节块和第二调节块之间设有推出螺栓和拉回螺栓，所述推出螺栓的尾端穿过第一调节块与水平调节支座抵靠，所述推出螺栓与第一调节块之间为螺纹配合，所述拉回螺栓依次穿过所述第一调节块和第二调节块，所述拉回螺栓与第一调节块之间为通孔配合，与第二调节块之间为螺纹配合。

所述固定座上设有腰型的调节孔，所述调节孔内设有用于将水平调节支座固定在固定座上的第二固定螺栓。

所述第二调节块与高度调节支座之间设有高度调节螺栓，所述高度调节螺栓依次穿过第二调节块与高度调节支座，所述高度调节螺栓与第二调节块之间为螺纹配合，与所述高度调节支座之间为通孔配合，所述高度调节螺栓上设有左螺母和右螺母，所述左螺母和右螺母位于所述高度调节支座的通孔的两侧。

所述高度调节支座上设有腰型的安装孔，所述安装孔内设有用于将高度调节支座固定在所述水平调节支座上的第一固定螺栓。

所述扩散炉炉体调节装置设置为两组，沿所述扩散炉炉体轴向间隔布置。

所述第一支撑件和第二支撑件为支撑轮或支撑球。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的扩散炉炉体调节装置，通过调节水平调节支座的水平位置，从而可以调节扩散炉炉体左右调节，通过调节高度调节支座的水平位置，使第一支撑件和第二支撑件之间的距离增大或减小，从而可以调节扩散炉炉体的高度。