[发明专利]一种低温泵有效
申请号: | 201510721110.1 | 申请日: | 2015-10-30 |
公开(公告)号: | CN105179199B | 公开(公告)日: | 2018-12-28 |
发明(设计)人: | 毛文瑞 | 申请(专利权)人: | 上海优拓低温技术有限公司 |
主分类号: | F04B37/08 | 分类号: | F04B37/08 |
代理公司: | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人: | 周涛 |
地址: | 201108 上海市闵行*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低温泵 | ||
1.一种低温泵,其包括法兰(1),与法兰(1)连接的真空腔体(2)、与真空腔体(1)连接的制冷机(3),其特征在于,所述真空腔体(2)内还设有冷伞吸附组件(4),所述冷伞吸附组件(4)通过其上的顶盖(7)固定在真空腔体(2)内,所述冷伞吸附组件(4)包含中心板(10)和阵列排布冷伞片 (20),所述中心板(10)为圆形板,所述阵列排布冷伞片 (20)分为第一阵列冷伞片 (21),第二阵列冷伞片 (22),第三阵列冷伞片(23),第四阵列冷伞片(24),所述第一阵列冷伞片 (21),第二阵列冷伞片 (22),第三阵列冷伞片(23),第四阵列冷伞片(24)至少包含两片冷伞片,所述冷伞吸附组件(4)顶盖(7)为正六边形,在所述冷伞吸附组件(4)顶盖(7)的每条边上均开有若干个吸附小孔(8)。
2.根据权利要求1所述低温泵,其特征在于,所述第一阵列冷伞片 (21),第二阵列冷伞片 (22),第三阵列冷伞片(23),第四阵列冷伞片(24)以轴为对称排列,并围成一个圆形。
3.根据权利要求1所述低温泵,其特征在于,所述第一阵列冷伞片 (21),第二阵列冷伞片 (22),第三阵列冷伞片(23),第四阵列冷伞片(24)以轴为对称排列,并围成一个多边形。
4.根据权利要求1所述低温泵,其特征在于,所述第一阵列冷伞片 (21),第二阵列冷伞片 (22),第三阵列冷伞片(23),第四阵列冷伞片(24)上均设有活性炭。
5.根据权利要求1所述的低温泵,其特征在于,所述真空腔体(2)内还设有一级挡板(5),所述一级挡板(5)设置在冷伞吸附组件(4)的上端。
6.根据权利要求5所述的低温泵,其特征在于,所述一级挡板(5)为环状百叶窗,所述一级挡板(5)由紫铜制作而成,其表面镀镍。
7.根据权利要求1所述的低温泵,其特征在于,所述低温泵的真空腔体(2)内还设有80K屏(6),所述80K屏(6)设置在冷伞吸附组件(4)的下端,所述制冷机(3)的一级冷头用于给80K屏(6)和一级挡板(5)制冷,所述制冷机(3)的二级冷头用于给冷伞吸附组件(4)制冷。
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