[发明专利]一种可防二次溅射污染的光学蒸发镀膜设备

权利要求书

1.一种可防二次溅射污染的光学蒸发镀膜设备，其特征在于，所述的镀膜设备主要包括镀膜炉腔、镀膜装置和防溅射装置；

所述镀膜装置主要由电子束蒸发装置、离子装置、镀膜原料和镀膜治具组成；电子束蒸发装置与离子装置安装在镀膜炉腔的底部，镀膜治具为可旋转的圆锥形壳体状，通过中轴处安装旋转中轴从而活动安装在镀膜炉腔顶部的中轴孔处，且镀膜治具上、下表面印设有适配产品排列定位的型印；

所述防溅射装置安装在靠近镀膜治具的下方，主要包括防溅射治具组、弹性卡钩和积尘监控器，防溅射治具组由3-5对弧形治具构成，成对的弧形治具对称安装在镀膜炉腔内相对的两侧壁上，每对弧形治具从上往下依次纵向排列安装在侧壁上，弧形治具的向外延伸边正对在镀膜治具外边缘以内的范围之下；所述弧形治具成形为由水平挡板和竖直挡板垂直连接组成的长弧形立体挡块状，竖直挡板的外侧面与弹性卡钩固定连接，所述3-5对弧形治具水平挡板的弧长相等，弧宽设置为宽度均相同，或设置为各弧宽的宽度由下至上依次递增；弧形治具通过弹性卡钩挂载在镀膜炉腔侧壁上，弧形治具的竖直挡板与弹性卡钩通过焊接固定于一体；所述的积尘监控器实时监控弧形治具挡板内侧的积尘量；镀膜炉腔的内侧壁设置有安装防溅射治具组的挂载槽，挂载槽与弹性卡钩形成嵌套扣合的连接结构，挂载槽对应设置有3-5道，挂载槽为围绕镀膜炉腔内侧壁一周而开设的环形通槽，与弧形治具固连的弹性卡钩可沿挂载槽移动以调节弧形治具挂载位置；

所述的镀膜装置通过电子束蒸发装置和离子装置的电子束加热蒸发与离子溅射结合形成镀膜产品的离子镀镀膜，电子束蒸发装置主要包括电子束发生装置、坩埚和蒸发角度调节装置，其中蒸发角度调节装置依据镀膜治具和弧形治具的覆盖范围调节蒸发角度以限定镀膜原料蒸发后的沉积范围；所述的离子装置主要由离子推进器和离子转换器组成。