[发明专利]基于声表面波敏感元件的露点传感器

权利要求书

1.基于声表面波敏感元件的露点传感器，该露点传感器位于湿度反应室内，实现对声表面波敏感元件表面是否为露点或霜点的判断；包括制冷组件(2)、散热组件(3)、测温元件A、声表面波信号测量电路(4)、PID控制电路(5)和综合控制电路(6)；其特征是；在声表面波敏感元件(1)的表面设置声电换电器(7)；

所述制冷组件(2)设置在声表面波敏感元件(1)的底部，用于对声表面波敏感元件(1)强制制冷，使所述声表面波敏感元件(1)的表面结露或者结霜；

所述PID控制电路(5)用于根据综合控制电路(6)的指令，控制制冷组件(2)的制冷速度；

所述测温元件A，用于当声表面波敏感元件(1)的表面结露或结霜时，测量声表面波敏感元件(1)的表面的温度；

所述散热组件(3)设置在制冷组件(2)的底部，用于将所述制冷组件(2)产生的热能传到空气中；

所述声表面波信号测量电路(4)用于测量声表面波敏感元件(1)表面声电换电器输出的电信号，根据信号的频率和振幅变化，判断声表面波敏感元件表面是露点还是霜点；

所述综合控制电路(6)根据声表面波信号测量电路(4)测得声表面波敏感元件(1)表面电信号，控制PID控制电路(5)。

2.根据权利要求1所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，还包括测温元件B，该测温元件B用于测量空气温度，所述测温元件A测量声表面波敏感元件表面的温度，将所述声表面波敏感元件表面的温度和空气温度带入露点或霜点公式，获得空气的相对湿度。

3.根据权利要求1或2所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，还包括设置在湿度反应室外的强制通风防辐射罩(8)和微型气泵(9)，轴流风机(10)将外界的空气导入强制通风防辐射罩(8)内，并通过微型气泵(9)将强制通风防辐射罩(8)内的空气导入湿度反应室内，所述散热组件(3)产生的热能通过轴流风机(10)传到强制通风防辐射罩(8)内的空气中。

4.根据权利要求1所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，所述制冷组件(2)为四层帕尔贴制冷组件，所述四层帕尔贴制冷组件为金字塔形状。

5.根据权利要求1所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，声表面波信号测量电路(6)采用FPGA芯片。

6.根据权利要求1所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，所述PID控制电路(5)采用光电隔离和MOSFET管驱动。

7.根据权利要求2所述的基于声表面波敏感元件的露点传感器，其特征在于，测温元件A和测温元件B为铂电阻PT100。