[发明专利]一种硅片喷砂装置

权利要求书

1.一种硅片喷砂装置，其特征在于：包括箱体(1)，所述箱体(1)内设有将箱体(1)分为上腔(3)和下腔(4)的隔板(2)，所述隔板(2)上开设有排砂口(5)，所述箱体(1)上开设有取放窗口(6)，所述箱体(1)上还开设有观察窗口(7)，所述取放窗口(6)和观察窗口(7)均与上腔(3)相通，所述箱体(1)上还固定有封闭观察窗口(7)的亚克力板(8)，所述箱体(1)上设有封闭取放窗口(6)的密封板(9)，所述箱体(1)上焊接有两根对密封板(9)进行定位的立柱(10)，所述立柱(10)分别位于取放窗口(6)的两侧，所述立柱(10)上开设有供密封板(9)上、下滑动的滑槽(11)，所述取放窗口(6)的下端固定有对密封板(9)进行限位的限位台(12)，所述限位台(12)上开设有容纳密封板(9)的容纳槽，所述上腔(3)的顶壁上还固定有照明灯(13)，所箱体(1)上还固定有控制照明灯(13)的照明开关(14)，该硅片喷砂装置还包括喷枪(15)，所述喷枪(15)位于上腔(3)内，所述下腔(4)内固定有喷砂器(16)，所述排砂口(5)与喷砂器(16)之间通过排砂管(17)连接，所述喷砂器(16)通过喷砂管(18)与喷枪(15)连接，所述隔板(2)上开设有穿设喷砂管(18)的通孔，所述喷砂器(16)包括控制开关(19)，所述控制开关(19)位于上腔(3)内，所述控制开关(19)固定在隔板(2)上，所述箱体(1)上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口(20)，所述手持窗口(20)上固定有封闭手持窗口(20)的手套(21)，所述手套(21)位于上腔(3)内。

2.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置，其特征在于：所述箱体(1)上在位于取放窗口(6)的两侧分别设有密封条(22)，所述密封条(22)的轴线与立柱(10)的轴线平行，所述密封板(9)上开设有与密封条(22)配合的密封槽(23)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置，其特征在于：所述隔板(2)上在排砂口(5)处设有伸入下腔(4)的凸环(24)，所述排砂管(17)固定在凸环(24)上。

4.根据权利要求1所述的一种硅片喷砂装置，其特征在于：所述密封板(9)上固定有便于操作人员打开密封板(9)的把手(25)，所述把手(25)通过粘接方式固定在密封板(9)上。

5.根据权利要求1至4任意一项所述的一种硅片喷砂装置，其特征在于：所述箱体(1)上还开设有检修喷砂器(16)的检修口(26)，所述箱体(1)上固定有封闭检修口(26)的门体(27)，所述门体(27)转动连接在箱体(1)上。