[发明专利]微机电系统控制阀以及控制敏感流体的方法

权利要求书

1.配置以调节流经的绝缘流体的流动的一种阀组件，所述阀组件包括：

配置以控制流经第一流体电路的第一流体流动的第一阀阶段；以及

配置以控制流经第二流体电路的第二流体流动的第二阀阶段，所述第一阀阶段连接至 所述第二阀阶段使得所述第一流体作用于所述第二阀阶段以使所述第二阀阶段在打开位 置和关闭位置之间移动；

其中流经所述第二阀阶段的所述第二流体与流经所述第一阀阶段的所述第一流体绝 缘。

2.如权利要求1所述的阀组件，其中所述第一阀阶段包括电子促动微阀。

3.如权利要求2所述的阀组件，进一步包括连接体，所述第一阀阶段和所述第二阀阶段 支撑在所述连接体上，所述连接体限定了所述第一阀阶段和所述第二阀阶段之间的流体流 动路径。

4.如权利要求3所述的阀组件，其中所述第一阀阶段包括第一端和第二端，所述第一阀 阶段的第一端限定了安装微阀的歧管。

5.如权利要求4所述的阀组件，所述第一阀阶段进一步包括连接至微阀并由所述第一 阀阶段向外延伸的电连接器。

6.如权利要求5所述的阀组件，进一步包括附连至所述第一阀阶段的第一端的盖，所述 盖限定了内部安装第一微阀的空腔。

7.如权利要求3所述的阀组件，其中所述第二阀阶段包括第一端和第二端，形成于所述 第二阀阶段的所述第二端的活塞室，以及形成于所述活塞室壁中的环形阀座，其中第一流 体通道从所述第二阀阶段的所述第一端延伸至所述活塞室内的阀座并限定流体入口，其中 活塞限定了阀关闭元件，被可滑动地安装于所述活塞室内且在打开位置和关闭位置之间可 移动，在打开位置，所述第二流体被允许流经第二阀阶段，在关闭位置，所述第二流体被阻 止流经第二阀阶段。

8.如权利要求7所述的阀组件，其中环形通道形成于第二阀阶段围绕所述第一流体通 道，并且由限定了流体出口的第一端延伸至通往活塞室的第二端。

9.如权利要求8所述的阀组件，其中所述活塞包括一个通过连接构件连接至盘形弹簧 元件的活塞体，其中所述弹簧元件的外侧边缘部分附接至所述第二阀阶段使得活塞处于打 开位置。

10.如权利要求9所述的阀组件，进一步包括附接到处于第一流体电路和所述活塞弹簧 元件之间的第二阀阶段的弹性隔膜，所述隔膜限定了在第一流体电路的第一流体和第二流 体电路的第二流体之间不漏流体的屏障。

11.如权利要求10所述的阀组件，其中当位于第一阀阶段和第二阀阶段之间的流体流 动路径的并作用于隔膜的第一流体的压力大于弹簧元件的弹簧弹力时，所述弹簧元件朝所 述阀座偏斜，并且，所述活塞被推动与所述阀座接触，因而将活塞移动到关闭位置并且阻止 流体流经第二流体电路，以及其中当位于第一阀阶段和第二阀阶段之间的流体流动路径的 并作用于隔膜的第一流体的压力缩减至小于弹簧元件的弹簧弹力的数值时，所述弹簧元件 返回至未被促动位置，并且所述活塞被从所述阀座移走，从而将活塞移动到打开位置并且 允许流体流经第二流体电路。

12.阀组件包括具有第一端和第二端的阀主体，形成于所述第二阀阶段的第二端的活 塞室，形成于活塞室第一端的壁中的环形阀座以及关闭所述活塞室第二端的弹性隔膜，其 中第一流体通道从所述阀主体的第一端延伸至所述活塞室内的阀座并限定了用以绝缘流 体电路中流体的流体入口，其中活塞限定了阀关闭元件，并被可滑动地安装于所述活塞室 内且在打开位置和关闭位置之间可移动，在打开位置，所述流体被允许流经阀组件，在关闭 位置，所述第二流体被阻止流经阀组件，其中所述活塞响应于施加至隔膜上的力在打开位 置和关闭位置之间可移动。

13.如权利要求12所述的阀组件，环形通道形成于所述阀主体围绕所述第一流体通道， 并且由限定了流体出口的第一端延伸至通向活塞室的第二端。

14.如权利要求13所述的阀组件，其中所述活塞包括一个通过连接构件连接至盘形弹 簧元件的活塞体，其中所述弹簧元件的外侧边缘部分附接至所述阀主体使得活塞处于打开 位置。