[发明专利]一种硅片喷砂机

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片喷砂机。

背景技术

硅片在生产过程中，将硅锭切割成硅片后部分硅片可能需要进行喷砂处理，以利于硅片的后续处理。

现有技术中没有专门针对硅片进行喷砂处理的装置，由于硅片生产过程中可能并不需要对所有硅片进行喷砂，因此，现有技术中对硅片进行喷砂时均在生产现场直接进行，硅片喷砂处理过程中砂料回收率低，并且，由于喷砂时没有防护措施，硅片的喷砂过程对环境影响大。为此，现有技术中有采用其它喷砂设备对硅片进行喷砂处理，但是现有技术中的喷砂设备结构不合理，长期使用后观察口上积聚较多的灰尘，观察口清洁不方便，造成操作人员无法直观地观察喷砂过程，影响硅片的喷砂质量。

发明内容

本发明提供的一种硅片喷砂机，旨在克服现有技术中喷砂设备结构不合理、观察口清洁不方便的不足。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种硅片喷砂机，包括箱体，所述箱体内设有将箱体分为上腔和下腔的隔板，所述隔板上开设有排砂口，所述箱体上开设有取放窗口，所述箱体上还开设有观察窗口，所述取放窗口和观察窗口均与上腔相通，所述箱体上还固定有封闭观察窗口的亚克力板，所述箱体上设有封闭取放窗口的密封板，所述箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，所述装配槽内固定有将亚克力板压紧在装配槽内的压紧框，所述压紧框通过压紧螺钉固定在箱体上，所述亚克力板上卡接有密封圈，所述密封圈上开设有与亚克力板配合的卡槽，所述卡槽的侧壁与亚克力板之间涂设有粘接层，所述亚克力板上还固定有便于取下亚克力板的提手；所述密封板通过合页转动连接在箱体上，所述密封板上设有与取放窗口配合的凸块，所述凸块与密封板为一体式结构，所述取放窗口的侧壁上卡接有密封垫圈，所述密封垫圈上开设有卡口，所述卡口的侧壁与取放窗口的侧壁之间涂有粘接层，所述密封板上固定有便于打开密封板的把手；该硅片喷砂机还包括喷枪，所述喷枪位于上腔内，所述下腔内固定有喷砂器，所述排砂口与喷砂器之间通过排砂管连接，所述喷砂器通过喷砂管与喷枪连接，所述隔板上开设有穿设喷砂管的通孔，所述喷砂器包括控制开关，所述控制开关位于上腔内，所述控制开关固定在隔板上，所述箱体上还开设有两个便于操作人员手持产品的手持窗口，所述手持窗口上固定有封闭手持窗口的手套，所述手套位于上腔内。

上述构成中，箱体上开设有装配槽，亚克力板固定在装配槽内，并且由压紧框将亚克力板压紧在装配槽内，位于箱体上的观察窗口由亚克力板封闭，并且，亚克力板上还卡接有密封圈，长期使用后，需要对亚克力板进行清洁时，可以方便地将压紧框取出，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，卡接于亚克力板边缘处的密封圈还可以起到保持亚克力板的作用，避免在清洗时损坏压克力板。

一种可选的方案，所述箱体上在位于取放窗口的下侧处还固定有放置产品的放置板，所述放置板通过螺栓固定在箱体上，所述放置板与箱体之间固定有支撑肋，所述放置板上开设有避免产品滑落的放置槽。在箱体上固定放置板更有利于操作人员对密封板进行操作，使用方便；放置板上开设放置槽可以避免产品滑落。

一种可选的方案，所述隔板的形状为利于砂料进入排砂口的漏斗状，所述箱体上焊接有固定隔板的凸棱，所述隔板上设置有搭接在凸棱上的挡肩，所述凸棱与挡肩之间设有垫片，所述挡肩通过固定螺钉固定在凸棱上。将隔板设置为漏斗状，便于砂料集中至排砂口，提高了砂料的回收利用率；另外，利用焊接在箱体上的凸棱对隔板进行固定，隔板固定效果好，垫片的设置避免了砂料泄漏，进一步提高了砂料的回收利用率。

与现有技术相比，本发明提供的一种硅片喷砂机，具有如下优点：箱体上开设有放置亚克力板的装配槽，亚克力板放置在装配槽内以后由压紧框对亚克力板进行压紧，亚克力板上卡接有密封圈以提高亚克力板的密封性能，密封圈可以避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，长期使用后，封闭观察窗口的亚克力板上可能积聚较多的杂物，影响操作人员的视线，此时，操作人员可以方便地松开压紧框，然后利用提手将亚克力板拆下进行清洗，清洗完毕后再将亚克力板装配至装配槽内，操作十分方便；

另外，取放窗口的侧壁上固定有密封垫圈，并且在密封板上设有凸块，凸块插入取放窗口内与密封垫圈紧密贴合，可以良好地将取放窗口封闭，避免喷砂过程中砂料泄漏污染环境，优化了喷砂机的使用性能。

附图说明

附图1是本发明一种硅片喷砂机的主视图；

附图2是附图1中A-A处剖视图；

附图3是附图1中B-B处剖视图；

附图4是附图2中C处放大图。

具体实施方式