[发明专利]一种基于电润湿的共形光传感集成的数字微流芯片

权利要求书

1.一种基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，包括：

在电润湿结构的电极间隙嵌入一个亚波长尺度的光传感结构并在结构上保持与电润湿结构疏水层共一个平面的共形结构；当液滴处于光传感结构部位上时，液滴折射率的变化会导致光传感结构光场发生变化，从而实现对微液滴成份及位置的测定。

2.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的亚波长尺度的光传感结构嵌入电润湿结构的两个相邻电极的间隙之间，不改变原有电润湿器件结构。

3.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述嵌入亚波长尺度光传感结构依次为基底、光传感基底缓冲层、绝缘层、疏水层。

4.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入的亚波长尺度光传感结构，电润湿的绝缘层既是电润湿功能结构的绝缘层，同时也作为所述所嵌入的亚波长尺度的光传感结构的内核层。

5.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入的亚波长尺度的光传感结构的内核上层缓冲层与电润湿结构的疏水层共一个平面。

6.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入的亚波长尺度光传感结构，在电润湿结构的相邻电极之间的间隙填充利于光传感功能产生的基底缓冲层。

7.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入的亚波长尺度光传感结构中的疏水结构层作为电润湿结构的疏水功能和前述权利所要求的光传感的内核上层缓冲层。

8.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入亚波长尺度光传感结构中，可以检测包括水、血液和其他折射率比空气大的物质。

9.根据权利要求1所述的基于电润湿的、并集成有共形光传感功能的数字微流芯片结构，其特征在于，所述的嵌入亚波长尺度光传感结构，既可以采用开放式的共面单基板电润湿结构，也可以用封闭式的三明治电润湿结构。