[发明专利]用于板状工件的翘曲校正设备和翘曲校正方法

权利要求书

1.一种翘曲校正设备(80)，所述翘曲校正设备校正板状工件的翘曲，所述板状工件包括第一表面(61a)和第二表面(61b)，所述翘曲校正设备(80)的特征在于包括：

弹性垫(82)，所述弹性垫包括平坦上表面(82a)；以及

第一片材供应单元(90)，所述第一片材供应单元被配置成在所述弹性垫(82)的所述上表面(82a)上供应第一清洁片材(83)；

工件保持机构(100)，所述工件保持机构被配置成在所述第一清洁片材(83)上供应所述板状工件；

第二片材供应单元(95)，所述第二片材供应单元被配置成在所述第一清洁片材(83)上方供应第二清洁片材(84)；

第一升降机单元(98)，所述第一升降机单元被配置成相对于所述第一清洁片材(83)上下移动所述第二清洁片材(84)；

压力辊(85)，所述压力辊可移动并且安置于所述第二清洁片材(84)上方；

第二升降机单元(110)，所述第二升降机单元被配置成使所述压力辊(85)朝向所述弹性垫(82)压制；以及

辊移动机构(111)，辊移动机构被配置成在所述压力辊(85)下降的状态下沿着所述弹性垫(82)的所述上表面(82a)移动所述压力辊(85)。

2.根据权利要求1所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于：

所述弹性垫(82)由具有弹性的树脂泡沫形成；以及

所述压力辊(85)由比所述弹性垫(82)更硬的弹性材料制成。

3.根据权利要求1所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于：

所述第一片材供应单元(90)包括：第一供应筒管(91)，所述第一供应筒管被配置成在所述弹性垫(82)上递送所述第一清洁片材(83)的未用的部分；以及，第一卷取筒管(92)，所述第一卷取筒管被配置成卷取在所述弹性垫(82)上的所述第一清洁片材(83)的用过的部分；以及

所述第二片材供应单元(95)包括：第二供应筒管(96)，所述第二供应筒管被配置成在所述第一清洁片材(83)上递送所述第二清洁片材(84)的未用的部分；以及，第二卷取筒管(97)，所述第二卷取筒管被配置成卷取所述第二清洁片材(84)的用过的部分。

4.根据权利要求2所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于：

所述第一片材供应单元(90)包括：第一供应筒管(91)，所述第一供应筒管被配置成在所述弹性垫(82)上递送所述第一清洁片材(83)的未用的部分；以及，第一卷取筒管(92)，所述第一卷取筒管被配置成卷取在所述弹性垫(82)上的所述第一清洁片材(83)的用过的部分；以及

所述第二片材供应单元(95)包括：第二供应筒管(96)，所述第二供应筒管被配置成在所述第一清洁片材(83)上递送所述第二清洁片材(84)的未用的部分；以及，第二卷取筒管(97)，所述第二卷取筒管被配置成卷取所述第二清洁片材(84)的用过的部分。

5.根据权利要求1所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于，还包括：离子发生器(86)，所述离子发生器用于防止静电积聚在所述第一清洁片材(83)和所述第二清洁片材(84)上。

6.根据权利要求2所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于，还包括：离子发生器(86)，所述离子发生器用于防止静电积聚在所述第一清洁片材(83)和所述第二清洁片材(84)上。

7.根据权利要求3所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于，还包括：离子发生器(86)，所述离子发生器用于防止静电积聚在所述第一清洁片材(83)和所述第二清洁片材(84)上。

8.根据权利要求4所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于，还包括：离子发生器(86)，所述离子发生器用于防止静电积聚在所述第一清洁片材(83)和所述第二清洁片材(84)上。

9.根据权利要求1所述的翘曲校正设备(80)，其特征在于：所述板状工件由框架单元(61)形成，所述框架单元(61)包括框架部分(62)和形成于所述框架部分(62)内的多个挠曲元件(40′)，并且所述工件保持机构(100)将所述框架单元(61)放置于所述第一清洁片材(83)上，使得在所述挠曲元件(40′)中每一个中的纵向方向与所述弹性垫(82)的所述上表面(82a)中的纵向方向一致。