[发明专利]一种翻转机构

说明书

技术领域

　本发明涉及一种翻转机构，主要是对成品或半成品进行翻转，尤其涉及一种用于半导体设备中对基片或基板进行翻转的机构。

背景技术

目前，在半导体的制造过程中，基片的翻转已经是至关重要的一个工序。基片翻转机构设计的是否合理可靠，将直接影响到基片的后序的再处理，比如说翻转机构的定位精度不高，会导致翻转之后的基片位置有偏差，进而影响到基片的加工和定位精度；翻转的速度较慢，又会导致生产周期的延长等一些列问题。现有的较普遍的基片翻转机构是直接对基片进行翻转，此种基片翻转机构是通过基片翻转,将基片通过机械手放到基片支撑件上，基片支撑件在汽缸或者电机等机构带动下做上升运动，达到指定位置时停止，同时安放其上的基片被基片卡盘夹持。基片支撑件下降，基片卡盘在翻转机构的驱动下进行180度翻转，此后基片支撑件再度上升达到指定的位置。在此同时，基片卡盘将基片落下，基板运出部分将基板运出。以上的基片翻转机构存在着以下几个问题首先工序太多，需要较多的时间，延长了生产周期。翻转过程将会导致基片的二次污染。

发明内容

针对以上不足，本发明的目的在于提供基片支撑件的翻转机构,基片卡盘的夹持、松开、翻转都是在一个环境中进行，使翻转过程中真空气体质量的不污染，保持基片的清洁度。

本发明的技术方案是通过以下方式实现的：一种翻转机构，由翻转主轴、胀紧套、夹紧气缸、直线导轨、同步齿轮齿条、夹爪组成，翻转主轴用胀紧套固定，二个夹爪固定在直线导轨的滑块上并可滑动，同步齿轮齿条可以调节二个夹爪的距离，使两组夹爪同步做张开收紧动作；其特征在于：所述的二个夹爪将工件夹紧并上升一定距离后进行翻转动作，移动机构将工件移栽到翻转后的工位。

　本发明，替代人工操作，能有效节省操作工人的劳动强度，防止基片变色生锈，确保产品的质量百分之百合格。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

由图1知，一种翻转机构，由翻转主轴1、胀紧套2、夹紧气缸3、直线导轨4、同步齿轮齿条5、夹爪6组成，翻转主轴1用胀紧套固定，二个夹爪6固定在直线导轨4的滑块上并可滑动，同步齿轮齿条5可以调节二个夹爪6的距离，使两组夹爪6同步做张开收紧动作；其特征在于：所述的二个夹爪6将工件夹紧并上升一定距离后进行翻转动作，移动机构将工件移栽到翻转后。