[发明专利]一种激光器与光栅耦合器的封装结构及其方法

说明书

技术领域

本发明提供一种硅光子集成器件，尤其是指提供一种激光器与光栅耦合器的封装结构及其方法。

背景技术

基于硅基之单片集成的光电芯片，是目前国际上研究的热点，硅基光电子集成技术是将光波导/调制器、光电探测器及驱动电路和接收器电路进行单片集成，即将光学元件和电学元件集成在一个芯片上，所有器件均采用标准集成电路工艺制备，其优点在于制作工艺成熟、成本低、体积小，适合于数据中心等中短距离光通信的应用。

虽然硅基材料可以制作光纤通信中的大部分光器件和电器件，但由于硅是间接半导体材料，其导带和价带的极值对应于不同的波矢，辐射复合几率很低，而且存在两个强非辐射跃迁过程：俄歇复合和自由载流子吸收。因此，目前无法制作成激光器元件。现在很多研究旨在克服硅的这种限制，例如，杂质掺杂、量子限制、硅-锗合金等。但还未出现完全满足性能要求的设计，故在硅基的单片集成光电芯片中，目前比较简单可行的方式，是采用外部混合集成三五族激光器的方式来实现光源的功能。因此，如何提高耦合效率，简化耦合工艺是一个亟待解决的问题。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明的主要目的在于提供一种激光器与光栅耦合器的封装结构。

为达成上述目的，本发明应用的技术方案是：提供一种激光器与光栅耦合器的封装结构，包括设在硅光芯片上的激光器单元、准直透镜、隔离器及反射棱镜，其中：硅光芯片包括表平面及其依序在表平面上设有的第一电极、第一标记、第二标记、光栅耦合器以及波导层；激光器单元包括过渡基板和激光器，还包括暴露在过渡基板顶表面上的第二电极；准直透镜包括第一、第二透镜，其中：第一透镜以光路对准激光器形式垂立于表平面，第二透镜对位第二标记设于表平面，使得光栅耦合器位于第二透镜光路主轴的中心区域，以及隔离器安装在介于第一、第二透镜之间表平面，使得激光器输出的发散光经过第一透镜准直后，透过隔离器入射到反射棱镜上，经过反射棱镜的角度偏转后由第二透镜汇聚，汇聚点位于光栅耦合器表面。

在本实施例中优选，顶表面还设有焊料部，焊料部靠近顶表面右侧边设置，且与第二电极电性相连，靠近焊料部的顶表面还设有第三标记。

在本实施例中优选，过渡基板对位第一标记安装在表平面上，激光器在对位第三标记时通过焊料部固定在顶表面上。

在本实施例中优选，过渡基板采用硅、氮化铝和/或氧化铝材料成型。

为解决上述技术问题，本发明的主要目的在于提供一种激光器与光栅耦合器的封装方法。

为达成上述目的，本发明应用的技术方案是：提供一种激光器与光栅耦合器的封装方法，包括：

先在过渡基板上制作有第二电极、焊料部以及第三标记，激光器与第三标记精确对位后，通过焊料部贴装在过渡基板上，激光器顶层具有顶层电极，顶层电极通过金丝线连接第二电极；

再在硅光芯片的表平面制作用于与过渡基板进行对位的第一标记以及用于贴装第二透镜时做到精确对位的第二标记，第二透镜直接贴装在硅光芯片上，使之焦平面与硅光芯片接触，以及

在第二标记的辅位作用下，使得第二透镜对位贴装时，光栅耦合器位于第二透镜的光路主轴的中心区域。

在本实施例中优选，第一透镜在硅光芯片上为可作移位调节结构，并以此能将激光器输出光变换为平行光，第一透镜和硅光芯片之间填充有紫外胶或热固胶固化。

在本实施例中优选，光隔离器设在第一透镜和反射棱镜之间，反射棱镜固定于表平面，其倾斜反射端面位于第二透镜正上方，反射棱镜将平行光束通过第二透镜耦合进光栅耦合器，通过微调位置来找到耦合效率最大点，然后，采用紫外胶或热固胶进行固化。

在本实施例中优选，通过调解第二透镜以及对反射棱镜的角度设置变化，使光栅耦合器得到最佳的耦合效率，其中：反射棱镜入射到光栅耦合器的光束角度在30°至60°之间。

在本实施例中优选，过渡基板通过第一标记对位后贴装并填充紫外胶或热固胶进行固化，同时第二电极与第一电极通过金丝建立电性连接，并以此使得激光器与硅光芯片建立电性连接。

在本实施例中优选，紫外胶或热固胶均为透光胶，固化于激光器与光栅耦合器的封装结构上的透光胶对波长为1.2um至1.6um的光透传。

本发明与现有技术相比，其有益的效果是：

采用光刻对准、倒装焊等工艺，来保证贴装精度，实现高效率耦合，具体表面为：

1.结构简单，易于实现混合集成芯片的量产；

2.对回波信号有隔离作用，避免反射光引起激光器性能不稳定；