[发明专利]一体化无源子腔模块和制造方法以及光纤激光器

权利要求书

1.一种一体化无源子腔模块，其特征在于，包括：子腔光路子模块、子腔封装子模块；

所述子腔封装子模块包括：真空室(401)；

所述子腔光路子模块包括：第一光纤耦合器(101)、第二光纤耦合器(102)、多芯光纤(103)、法布里珀罗波长选择滤波器FFPF(104)、光纤输入端口(105)、光纤输出端口(106)、FFPF驱动信号输入端口(107)；

其中，所述第一光纤耦合器(101)、所述第二光纤耦合器(102)、所述多芯光纤(103)、所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF(104)设置在所述真空室(401)的腔体中；

所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF(104)用于，根据输入的驱动信号，确定使用所述一体化无源子腔模块构成的光纤激光器的工作波长；

所述第一光纤耦合器(101)的第一端口与所述光纤输入端口(105)连接；所述第一光纤耦合器(101)的第二端口与所述多芯光纤(103)的第一端口连接，所述第一光纤耦合器(101)的第三端口空置，所述第一光纤耦合器的第四端口与所述第二光纤耦合器(102)的第四端口相连接；

所述第二光纤耦合器(102)的第一端口与所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF(104)的第一端口相连接,所述第二光纤耦合器(102)的第二端口与所述多芯光纤(103)的第二端口相连接,所述第二光纤耦合器(102)的第三端口空置；

所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF(104)的第二端口与光纤输出端口(106)相连接，所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF的第三端口与所述FFPF驱动信号输入端口(107)相连接；

所述第一光纤耦合器(101)、所述第二光纤耦合器(102)、所述多芯光纤(103)用于，构成激光谐振子腔；

所述光纤输入端口(105)、所述光纤输出端口(106)、所述FFPF驱动信号输入端口(107)设置在所述真空室的外壁上。

2.根据权利要求1所述的一体化无源子腔模块，其特征在于，

所述真空室(401)的底部为：恒温板(402)，所述子腔光路子模块设置在所述恒温板(402)上；

所述恒温板(402)上设置有温度控制信号输入端口(407)；

所述恒温板(402)用于，根据所述温度控制信号输入端口(407)输入的温度控制指令，控制所述真空室(401)的温度。

3.根据权利要求2所述的一体化无源子腔模块，其特征在于，所述子腔封装子模块还包括：铁磁不锈钢基座(403)，放置在所述恒温板(402)的下方；所述铁磁不锈钢基座(403)下方设置有橡胶地脚(406)；

所述真空室的腔壁上设置有抽气孔(404)、所述抽气孔处装有阀门(405)。

4.根据权利要求1所述的一体化无源子腔模块，其特征在于，还包括：FFPF驱动电路控制器；

所述FFPF驱动电路控制器包括：FFPF驱动信号输出端口(501)、波长选择指令输入端口(504)、波长扫描控制指令输入端口(505)；

所述FFPF驱动信号输出端口(501)与所述FFPF驱动信号输入端口(107)电连接；所述FFPF驱动电路控制器用于，根据所述波长选择指令输入端口(504)、所述波长扫描控制指令输入端口(505)输入的指令，输出相应的指令，以控制所述法布里珀罗波长选择滤波器FFPF工作。

5.根据权利要求2所述的一体化无源子腔模块，其特征在于，还包括：温度控制器；

所述温度控制器包括：温度控制信号输出端口(502)、温度控制指令输入端口(503)；

所述温度控制信号输出端口(502)与所述温度控制信号输入端口(407)电连接；

所述温度控制器用于，根据所述温度控制指令输入端口(503)输入的温度控制指令，输出相应的指令，以控制所述恒温板的温度。

6.一种光纤激光器，其特征在于，包括：主腔和权利要求1-5任一权利要求所述的一体化无源子腔模块。