[发明专利]防止湿清洗工艺之后的粘滞的微机电系统（MEMS）结构在审
| 申请号： | 201510735507.6 | 申请日： | 2015-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106082103A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 周仲彥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防止 清洗 工艺 之后 微机 系统 mems 结构 | ||
【说明书】：
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