[发明专利]微光成像探测器在审
申请号: | 201510736505.9 | 申请日: | 2015-11-03 |
公开(公告)号: | CN105424176A | 公开(公告)日: | 2016-03-23 |
发明(设计)人: | 陈波;张宏吉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J1/42 | 分类号: | G01J1/42;G01J1/02;G01J1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130000 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微光 成像 探测器 | ||
1.一种微光成像探测器,其特征在于,包括:
壳体(7);
输入窗口(1),其密封安装于所述壳体(7)的上端,且与所述壳体(7)之间构成高真空腔体(11),所述输入窗口(1)的外表面为平面,内表面为曲面,且在所述内表面上镀制有光电阴极层(2);
微通道板像增强器(3),其设置于所述高真空腔体(11)内,位于所述输入窗口(1)的下方;
感应编码阳极(4),其设置于所述高真空腔体(11)内,位于所述微通道板像增强器(3)的下方;
真空电极(6),其通过电极引线(5)与所述感应编码阳极(4)连接。
2.按照权利要求1所述微光成像探测器,其特征在于:所述微通道板像增强器(3)整体呈曲面,且与所述输入窗口(1)的内表面形状一致。
3.按照权利要求2所述微光成像探测器,其特征在于:所述输入窗口(1)的内表面与所述微通道板像增强器(3)均为非球面曲面。
4.按照权利要求1~3任一所述微光成像探测器,其特征在于:所述微通道板像增强器(3)由至少两片微通道板(31)上下依次叠加构成。
5.按照权利要求1所述微光成像探测器,其特征在于:所述光电阴极层(2)是由从紫外到红外波段的光电阴极材料制成。
6.按照权利要求1所述微光成像探测器,其特征在于,所述感应编码阳极(4)为分体式感应编码阳极,包括:半导体感应阳极板(41)和紧贴安装于所述半导体感应阳极板(41)下方的编码阳极板(42);
其中,所述半导体感应阳极板(41)由第一非金属材料板(411)以及镀制在所述第一非金属材料板(411)上表面的半导体材料(412)构成;
所述编码阳极板(42)由第二非金属材料板(421)以及制备于所述第二非金属材料板(421)上表面的编码阳极(422)构成。
7.按照权利要求6所述微光成像探测器,其特征在于:所述第一非金属材料板(411)为石英板、陶瓷板或玻璃板中的一种;所述半导体材料(412)为锗或硅中的一种。
8.按照权利要求6所述微光成像探测器,其特征在于:所述第二非金属材料板(421)为石英板、陶瓷板或玻璃板中的一种;所述编码阳极(422)为由金属薄膜制成的编码阳极图像。
9.按照权利要求1所述微光成像探测器,其特征在于:所述输入窗口(1)由石英材料制成。
10.按照权利要求1所述微光成像探测器,其特征在于:所述壳体(7)由金属材料制成。
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