[发明专利]一种相位锁定环形腔阵列气体激光器

权利要求书

1.一种相位锁定环形腔阵列气体激光器，其特征在于：包括第一放电管(18)、第二放电管(19)、第三放电管(20)、第四放电管(21)、第五放电管(22)、第六放电管(23)、第七放电管(24)、第八放电管(25)、第九放电管(26)、第十放电管(27)、第十一放电管(28)、第十二放电管(29)、第十三放电管(30)、第十四放电管(31)、第十五放电管(32)、第十六放电管(33)、第十七放电管(34)，凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行平面输出镜或平凸输出镜(45)、锁相镜(46)、会聚透镜(47)、第一储气室(37)、第二储气室(44)；

各个放电管两端均密封且关于激光器对称轴(48)对称放置，长度均为80cm，内径均为12mm，外径均为14mm；第一放电管(18)放置在激光器对称轴上，第二放电管(19)、第三放电管(20)、第四放电管(21)、第五放电管(22)、第六放电管(23)、第七放电管(24)、第八放电管(25)和第九放电管(26)的轴线相交于凹面全反射镜(35)中心；第十放电管(27)、第十一放电管(28)、第十二放电管(29)、第十三放电管(30)、第十四放电管(31)、第十五放电管(32)、第十六放电管(33)和第十七放电管(34)的轴线相交于平行平面输出镜或平凸输出镜(45)中心；

凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行平面输出镜或平凸输出镜(45)、锁相镜(46)、会聚透镜(47)放置在激光器对称轴上，其轴线均与激光器对称轴(48)重合；

凹面全反射镜(35)的曲率半径为200cm，到各放电管的距离为10cm-15cm；平行平面输出镜或平凸输出镜(45)到各放电管的距离为10cm-15cm；环形凹面镜(40)的曲率半径为200cm，且到各放电管的距离均为10cm-15cm；

4)第一放电管(18)、凹面全反射镜(35)、平行输出镜(45)构成轴上两镜腔；第二放电管(19)、第十放电管(27)、第十四放电管(31)、第六放电管(23)、凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行输出镜(45)构成第一环形腔；第三放电管(20)、第十一放电管(28)、第十五放电管(32)、第七放电管(24)、凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行输出镜(45)构成第二环形腔；第四放电管(21)、第十二放电管(29)、第十六放电管(33)、第八放电管(25)、凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行输出镜(45)构成第三环形腔；第五放电管(22)、第十三放电管(30)、第十七放电管(34)、第九放电管(26)、凹面全反射镜(35)、环形凹面镜(40)、平行输出镜(45)构成第四环形腔；

第一放电阳极(0)、第二放电阳极(1)、第三放电阳极(2)、第四放电阳极(3)、第五放电阳极(4)、第六放电阳极(5)、第七放电阳极(6)、第八放电阳极(7)、第九放电阳极(8)分别放置在第一放电管(18)、第二放电管(19)、第三放电管(20)、第四放电管(21)、第五放电管(22)、第六放电管(23)、第七放电管(24)、第八放电管(25)、第九放电管(26)端面，且到第二激光器支架(39)的距离为5-8cm；第十放电阳极(9)、第十一放电阳极(10)、第十二放电阳极(11)、第十三放电阳极(12)、第十四放电阳极(13)、第十五放电阳极(14)、第十六放电阳极(15)、第十七放电阳极(16)、第十八放电阳极(17)分别放置在第一放电管(18)、第十放电管(27)、第十一放电管(28)、第十二放电管(29)、第十三放电管(30)、第十四放电管(31)、第十五放电管(32)、第十六放电管(33)、第十七放电管(34)端面，且到第三激光器支架(41)的距离为5-8cm；

第一放电总阴极(36)密封连接在第一储气室(37)上，第二放电总阴极(43)密封连接在第二储气室(44)上。