[发明专利]薄膜剥离装置及其方法有效
| 申请号： | 201510743054.1 | 申请日： | 2013-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN105252880B | 公开（公告）日： | 2018-05-15 |
| 发明（设计）人： | 蔡镇竹;龚志伟;吴政哲;吕嘉华 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 剥离 装置 及其 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种可挠薄膜的剥离装置，适于一基板，该基板表面具有可挠薄膜，其特征在于，该装置包含：
吸附膜，用以附着于该可挠薄膜或该基板之上；以及
吸附组件，用以施力于该吸附膜，从而使该可挠薄膜或该基板产生形变而使该可挠薄膜与该基板分离，该吸附组件具有弧状表面，该吸附组件的材料为弹性材料。
2.根据权利要求1所述的可挠薄膜的剥离装置，其特征在于，该吸附组件包含：
基座；以及
多个弹簧，连接于该基座与该吸附膜。
3.根据权利要求1或2所述的可挠薄膜的剥离装置，其特征在于，该吸附组件的弯曲刚性大于该可挠薄膜的弯曲刚性。
4.一种可挠薄膜的剥离装置，适于一基板，该基板表面具有可挠薄膜，其特征在于，该装置包含：
吸附膜，用以附着于该可挠薄膜或该基板之上；以及
吸附组件，用以施力于该吸附膜，从而使该可挠薄膜或该基板产生形变而使该可挠薄膜与该基板分离，该吸附组件具有多个滚动装置，该多个滚动装置与该吸附膜定义了一个平坦部以及两个倾斜部，其中开始时平坦部的该吸附膜附着于该可挠薄膜上，然后该基板水平移动并当该基板的位置移动到该平坦部的边缘时，该吸附膜将该可挠薄膜剥离于该基板。
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