[发明专利]一种波导型光电探测器等效电路的建模方法

权利要求书

1.一种波导型光电探测器等效电路的建模方法，所述建模方法基于模拟退火算法，其特征在于，所述建模方法包括以下步骤：

根据波导型光电探测器的物理结构，分别考虑载流子渡越时间、外部寄生参量对带宽的影响，建立波导型光电探测器的等效电路模型；

对若干个波导型光电探测器进行散射参数的测量，通过散射参数计算值与测量值的相对误差，建立目标函数；

通过模拟退火算法拟合散射参数随频率变化的测试曲线，优化目标函数，提取等效电路模型中的各个元件值。

2.根据权利要求1所述的一种波导型光电探测器等效电路的建模方法，其特征在于，所述等效电路模型包括：

表征波导型光电探测器载流子渡越时间的电阻和电容；

压控电流源、结电阻和结电容；

非本征区耗损电阻、以及互连线引入的寄生电阻、寄生电容和寄生电感。

3.根据权利要求1所述的一种波导型光电探测器等效电路的建模方法，其特征在于，所述目标函数为：

F=Σf(|S21m-S21cS21m|+|S22m-S22cS22m|)]]>

其中，F为目标函数；S_21m、S_21c分别为散射参数S₂₁的测量值和计算值；S_22m、S_22c分别为散射参数S₂₂的测量值和计算值；f为频率点。

4.根据权利要求1所述的一种波导型光电探测器等效电路的建模方法，其特征在于，所述优化目标函数为：使目标函数趋近于最小值。

5.根据权利要求1所述的一种波导型光电探测器等效电路的建模方法，其特征在于，所述建模方法还包括：

利用电路仿真软件绘制波导型光电探测器的等效电路图，并通过提取的各个元件值设置电路元件参数；

在一定的频率范围内进行电路性能模拟仿真；

将仿真结果与实际测试的散射参数随频率变化的特性曲线进行对比，验证等效电路的准确性。