[发明专利]表面形貌测量教学仪及采用该教学仪测量表面形貌的方法在审
| 申请号： | 201510745422.6 | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN105423962A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 胡皓胜;王艺桥;单旭晨;刘书钢 | 申请（专利权）人： | 黑龙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 教学 采用 方法 | ||
【权利要求书】：
1.表面形貌测量教学仪，其特征在于，它包括激光器(1)、平面反射镜(2)、可滑动探针(3)和四象限探测器(4)；
可滑动探针(3)呈竖直方向，平面反射镜(2)固定在可滑动探针(3)的顶部、且与可滑动探针(3)垂直；
激光器(1)发出的激光经平面反射镜(2)反射后进入四象限探测器(4)的探测面。
2.根据权利要求1所述的表面形貌测量教学仪，其特征在于，所述的激光器(1)通过转接模块(5)安装在支架(6)上。
3.采用权利要求1所述的表面形貌测量教学仪测量表面形貌的方法，其特征在于，该方法为：
步骤一、开启激光器(1)和四象限探测器(4)，并调节激光器(1)的出光角度，使得四象限探测器(4)能够接收到平面反射镜(2)反射的光信号；
步骤二、在可滑动探针(3)下方的实验平台上放置待测样品，并使可滑动探针(3)的端部与待测样品接触；
步骤三、匀速移动待测样品，使待测样品与可滑动探针(3)产生相对滑动，完成对待测物表面形貌的扫描；
步骤四、根据扫描结果获得待测样品的表面形貌。
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