[发明专利]一种MEMS陀螺仪及其制造工艺有效
| 申请号： | 201510745602.4 | 申请日： | 2015-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN106546232B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 李航;孙晨;赵琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 mems 陀螺仪 及其 制造 工艺 | ||
【说明书】：
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