[发明专利]一种高效热光伏电池制备方法

权利要求书

1.一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

N型锑化镓片的清洗；

N型锑化镓片的表面碱制绒；

采用锌扩散法制备P+层；

折射率层的建立；

电极层的建立。

2.如权利要求1所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，所述N型锑化镓片的清洗的步骤包括：

N型锑化镓片的选取；

采用湿式化学清洗；

所述N型锑化镓片的选取步骤包括，N型锑化镓片为含有碲的N型锑化镓片，所述N型锑化镓片的电阻率为0.0085Ω-cm、禁带宽度为0.72eV、晶向为[100]；

所述采用湿式化学清洗的步骤包括，将N型锑化镓片先后置入HPM溶液、DHF溶液中清洗；所述在HPM溶液中清洗温度为温度70-90℃，在DHF溶液中清洗温度为25-30℃，其中HPM溶液配比为HCl:H₂O₂:H₂O＝1:1:5，DHF溶液配比为HF:H₂O＝1:95。

3.如权利要求1所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，所述N型锑化镓片的表面碱制绒的步骤包括：

将N型锑化镓片预清洗；

在N型锑化镓片的表面制绒；

所述将N型锑化镓片预清洗的步骤包括，将N型锑化镓片置入氢氧化钠和清洗剂混合的溶液中,在60-70℃的温度条件下，超声波震荡5min；

所述在N型锑化镓片的表面制绒的步骤包括，将经过预清洗的N型锑化镓片置入NaOH、Na₂SiO₄和IPA的混合溶液中，在80-90℃的温度条件下，反应25-30min，其中NaOH、Na₂SiO₄和IPA的混合溶液的配比为NaOH:Na₂SiO₄:IPA＝1:1-2:1-2。

4.如权利要求1所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，所述采用锌扩散法制备P+层的步骤包括：将N型锑化镓片和固态锌源放置于石墨盒中并通入氮气200-300ml/min，在530-580℃的扩散温度下，扩散60-90min；将扩散后的N型锑化镓片用5-10％盐酸清洗2-3min。

5.如权利要求4所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，将N型锑化镓片和固态锌源放置于石墨盒中并通入氮气200ml/min、扩散温度为550℃，扩散时间70min，将扩散后的N型锑化镓片用5％盐酸清洗3min。

6.如权利要求1-5任一所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，所述折射率层的建立的步骤包括：所述折射率层包括氧化硅折射率层和氮化硅折射率层，其中；

采用UV紫外线辐射法沉积氧化硅折射率层；

采用复合薄膜技术法沉积氮化硅折射率层；

所述采用UV紫外线辐射法沉积氧化硅折射率层的步骤包括，在短波长的UV紫外线辐射的条件下，在反应腔中通入氧气与氮气，其中，反应温度为50-60℃，氧气流量为15-25L/min，氮气流量为10-20L/min，沉积时间8-12s。

7.如权利要求6所述的一种高效热光伏电池制备方法，其特征在于，所述采用复合薄膜技术法沉积氮化硅折射率层的步骤包括，所述氮化硅折射率层包括第一层氮化硅Si₃N₄薄膜和第二层氮化硅Si₃N₄薄膜，在温度为400-450℃压强1600-2000毫托、等离子功率6000-7000Watt的反应腔中，通入NH₃3.5-4.5slm和SiH₄900-1100sccm，反应时间为200-230s，形成所述第一层氮化硅Si₃N₄薄膜；将流量调整为NH₃4.5-6.5slm、SiH₄500-800sccm，反应时间390-410s，形成所述第二层氮化硅Si₃N₄薄膜。