[发明专利]热电体、热电元件、热电转换元件及其制造方法在审
申请号: | 201510753584.4 | 申请日: | 2015-11-06 |
公开(公告)号: | CN105591018A | 公开(公告)日: | 2016-05-18 |
发明(设计)人: | 土屋泰 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L35/14 | 分类号: | H01L35/14;H01L35/34 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 田喜庆;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电 元件 转换 及其 制造 方法 | ||
1.一种热电体,其特征在于,包括:
包含铁、锰、铋和钆的氧化物,
所述氧化物具有钙钛矿型晶体结构,
在所述氧化物中,所述钆的原子数相对于A位元素的原子数的 总和的比为8.0原子%以上18原子%以下。
2.根据权利要求1所述的热电体,其特征在于,
在所述氧化物中,所述锰的原子数相对于B位元素的原子数的 总和的比为1.0原子%以上2.0原子%以下。
3.根据权利要求1或2所述的热电体,其特征在于,
在所述氧化物中,钛的原子数相对于B位元素的原子数的总和 的比为0原子%以上4.0原子%以下。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的热电体,其特征在于,
所述热电体在-40℃以上40℃以下范围内的环境温度下使用。
5.一种热电元件,其特征在于,具备:
第一电极;
根据权利要求1至4中任一项所述的热电体;以及
第二电极。
6.一种热电元件的制造方法,其特征在于,具有以下工序:
层叠第一电极、根据权利要求1至4中任一项所述的热电体和 第二电极。
7.一种热电转换元件,其特征在于,具有:
根据权利要求5所述的热电元件;
光吸收层;以及
绝缘层,设置在所述热电元件和所述光吸收层之间。
8.一种热电转换元件的制造方法,其特征在于,具有以下工序:
形成根据权利要求5所述的热电元件;以及
形成隔着绝缘层覆盖所述热电元件的至少一部分的光吸收层。
9.一种热式光检测器,其特征在于,具备:
根据权利要求5所述的热电元件。
10.一种热式光检测器,其特征在于,具备:
使用根据权利要求6所述的热电元件的制造方法而制造的热电 元件。
11.一种热式光检测器的制造方法,其特征在于,具有以下工序:
准备具有基板和牺牲层的基座构件;
在所述基座构件的设置有所述牺牲层一侧的表面上形成支承构 件;
在所述支承构件上形成根据权利要求5所述的热电元件;
形成隔着绝缘层覆盖所述热电元件的外表面的光吸收层;
将所述支承构件图案化;以及
蚀刻所述牺牲层。
12.一种电子设备,其特征在于,具备:
根据权利要求9或10所述的热式光检测器。
13.一种电子设备,其特征在于,具备:
使用根据权利要求11所述的热式光检测器的制造方法而制造 的热式光检测器。
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