[发明专利]一种晶棒的截断方法和一种带锯机

权利要求书

1.一种晶棒的截断方法，其特征在于，采用金刚石带锯条对所述晶棒进行周期性的振动切削使所述晶棒被截断，在切削所述晶棒过程中，所述晶棒进行周期性的振动。

2.如权利要求1所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。

3.如权利要求2所述的晶棒的截断方法，其特征在于，采用振动施加装置使所述晶棒平行于所述晶棒的进给的方向进行周期性的往复振动。

4.如权利要求3所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述振动施加装置为电磁振动器。

5.如权利要求4所述的晶棒的截断方法，其特征在于，在装载有所述晶棒的工作台上设置所述电磁振动器，所述电磁振动器带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台上装载的所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。

6.如权利要求1所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒的振幅为50μm-200μm。

7.如权利要求6所述的晶棒的截断方法，其特征在于，所述晶棒的振幅为100μm-150μm。

8.一种带锯机，其特征在于，包括金刚石带锯条、振动施加装置和用于装载晶棒的工作台，所述振动施加装置设置在工作台上用于带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台装载的晶棒产生周期性振动。

9.如权利要求8所述的带锯机，其特征在于，所述振动施加装置为电磁振动器。

10.如权利要求9所述的带锯机，其特征在于，所述电磁振动器带动所述工作台产生周期性振动，进而使所述工作台上装载的所述晶棒平行于所述晶棒的进给方向进行周期性的往复振动。