[发明专利]一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜在审
申请号: | 201510755115.6 | 申请日: | 2015-11-09 |
公开(公告)号: | CN105258635A | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 曲艺;武东城;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B9/02 | 分类号: | G01B9/02;G01B11/24 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 李青 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 波段 激光 干涉仪 标准 参考 | ||
1.一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜,其特征在于,所述参考镜包括:光阑和镜头组分;干涉仪发出任一可见光波长的入射光,通过光阑后,使入射光的口径与镜头组分的口径匹配;镜头组分将入射光汇聚在镜头组分参考面的球心位置,所述镜头组分为透明玻璃,数量为3-5片。
2.根据权利要求1所述的一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜,其特征在于,所述光阑为孔径光阑。
3.根据权利要求2所述的一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜,其特征在于,所述孔径光阑为一个金属挡光片,中心有通光孔,做染黑处理。
4.根据权利要求1所述的一种宽波段斐索激光干涉仪标准参考镜,其特征在于,所述参考面为凹面,半径范围为30mm≤r≤2000mm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,未经中国科学院长春光学精密机械与物理研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510755115.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:基于激光和CCD的玻璃厚度测量系统
- 下一篇:齿圈圆度检测机