[发明专利]一种用于单行载流子光电二极管的吸收区结构在审

专利信息
申请号: 201510755818.9 申请日: 2015-11-09
公开(公告)号: CN105390556A 公开(公告)日: 2016-03-09
发明(设计)人: 张戎;曹俊诚;邵棣祥 申请(专利权)人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
主分类号: H01L31/0304 分类号: H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/10
代理公司: 上海光华专利事务所 31219 代理人: 罗泳文
地址: 200050 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 单行 载流子 光电二极管 吸收 结构
【权利要求书】:

1.一种用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于,所述吸收区结构采用In1-xGaxAsyP1-y材料生长,其中,x、y分别为Ga元素和As元素的材料组分,0<x<1,0<y≤1,且组分参数x、y呈线性渐变或阶跃式梯度变化,使得吸收区内的禁带宽度实现梯度变化。

2.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:组分参数x、y的选取使得In1-xGaxAsyP1-y材料的禁带宽度不大于波长为1.5μm的激光的光子能量。

3.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述In1-xGaxAsyP1-y材料的组分参数x、y的取值范围为0.38≤x≤0.47,0.82≤y≤1。

4.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的组分从靠近p型接触层的一端朝靠近n型接触层的一端呈线性渐变,且Ga组分x为逐渐增大,使得吸收区内的禁带宽度实现线性变化。

5.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的组分从靠近p型接触层的一端朝靠近n型接触层的一端呈阶跃式梯度变化,且Ga组分x为逐梯度增大,使得吸收区内的禁带宽度实现梯度变化。

6.根据权利要求4或5所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料中,靠近p型接触层一端的组分为In0.62Ga0.38As0.82P0.18,靠近n型接触层的一端的组分为In0.53Ga0.47As,中间组分呈线性渐变或呈阶跃式梯度变化。

7.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的晶格常数应与InP相匹配,x、y满足:

x=0.1896y0.4176-0.0125y.]]>

8.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的带隙为:

Eg(In1-xGaxAsyP1-y)=1.35+(0.642+0.758x)x+(0.101y-1.101)y

-(0.28x-0.109y+0.159)xy

其中,0.74eV≤Eg(In1-xGaxAsyP1-y)≤0.82eV。

9.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述单行载流子光电二极管包括依次相连的p型接触层、阻挡层、吸收区、收集区、以及n型接触层。

10.根据权利要求9所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述单行载流子光电二极管还包括连接层以及电荷区,所述连接层连接于所述吸收区及收集区之间,所述电荷区连接于所述收集区及n型接触层之间。

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