[发明专利]一种用于单行载流子光电二极管的吸收区结构在审
申请号: | 201510755818.9 | 申请日: | 2015-11-09 |
公开(公告)号: | CN105390556A | 公开(公告)日: | 2016-03-09 |
发明(设计)人: | 张戎;曹俊诚;邵棣祥 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L31/0304 | 分类号: | H01L31/0304;H01L31/0352;H01L31/10 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 罗泳文 |
地址: | 200050 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 单行 载流子 光电二极管 吸收 结构 | ||
1.一种用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于,所述吸收区结构采用In1-xGaxAsyP1-y材料生长,其中,x、y分别为Ga元素和As元素的材料组分,0<x<1,0<y≤1,且组分参数x、y呈线性渐变或阶跃式梯度变化,使得吸收区内的禁带宽度实现梯度变化。
2.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:组分参数x、y的选取使得In1-xGaxAsyP1-y材料的禁带宽度不大于波长为1.5μm的激光的光子能量。
3.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述In1-xGaxAsyP1-y材料的组分参数x、y的取值范围为0.38≤x≤0.47,0.82≤y≤1。
4.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的组分从靠近p型接触层的一端朝靠近n型接触层的一端呈线性渐变,且Ga组分x为逐渐增大,使得吸收区内的禁带宽度实现线性变化。
5.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的组分从靠近p型接触层的一端朝靠近n型接触层的一端呈阶跃式梯度变化,且Ga组分x为逐梯度增大,使得吸收区内的禁带宽度实现梯度变化。
6.根据权利要求4或5所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料中,靠近p型接触层一端的组分为In0.62Ga0.38As0.82P0.18,靠近n型接触层的一端的组分为In0.53Ga0.47As,中间组分呈线性渐变或呈阶跃式梯度变化。
7.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的晶格常数应与InP相匹配,x、y满足:
8.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述吸收区In1-xGaxAsyP1-y材料的带隙为:
Eg(In1-xGaxAsyP1-y)=1.35+(0.642+0.758x)x+(0.101y-1.101)y
-(0.28x-0.109y+0.159)xy
其中,0.74eV≤Eg(In1-xGaxAsyP1-y)≤0.82eV。
9.根据权利要求1所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述单行载流子光电二极管包括依次相连的p型接触层、阻挡层、吸收区、收集区、以及n型接触层。
10.根据权利要求9所述的用于单行载流子光电二极管的吸收区结构,其特征在于:所述单行载流子光电二极管还包括连接层以及电荷区,所述连接层连接于所述吸收区及收集区之间,所述电荷区连接于所述收集区及n型接触层之间。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的