[发明专利]磁场计测方法以及磁场计测装置有效

专利信息
申请号: 201510756467.3 申请日: 2015-11-09
公开(公告)号: CN105589048B 公开(公告)日: 2020-10-30
发明(设计)人: 长坂公夫 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G01R33/032 分类号: G01R33/032
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 田喜庆;吴孟秋
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 磁场 方法 以及 装置
【权利要求书】:

1.一种磁场计测方法,其特征在于,

通过磁场计测装置计测计测区域的磁场,

在所述磁场计测装置中,第一方向、第二方向和第三方向相互正交,

所述磁场计测装置具备:

光源部,射出直线偏振光;

介质,电场的振动方向为所述第二方向的所述直线偏振光沿所述第三方向照射所述介质,所述介质配置于所述计测区域,使所述直线偏振光的光学特性根据磁场而变化;

光学检测器,检测所述光学特性;以及

磁场发生器,向所述计测区域施加人工磁场,

所述磁场计测方法包括:

使所述磁场发生器产生在所述第一方向和所述第二方向中的一方向的人工磁场分量为固定值的状态下改变了所述第三方向的人工磁场分量以及所述第一方向和所述第二方向中的另一方向的人工磁场分量的多个人工磁场;

基于所述光学检测器的检测结果算出磁化值或者与所述磁化值对应的值,所述磁化值是所述介质的磁化向量的所述第一方向的分量;以及

利用所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极大值条件时的人工磁场和满足极小值条件时的人工磁场,算出人工磁场为零时存在于所述计测区域的磁场即原磁场,

第一磁场是所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极大值条件时的人工磁场,

第二磁场是所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极小值条件时的人工磁场,

所述一方向的人工磁场分量是所述第二方向的人工磁场分量,所述另一方向的人工磁场分量是所述第一方向的人工磁场分量,

算出所述原磁场包括采用下式(1)~下式(3),

其中,Apx是所述第一磁场的第一方向的分量,Avx是所述第二磁场的第一方向的分量,Apz是所述第一磁场的第三方向的分量,Avz是所述第二磁场的第三方向的分量,Afy是所述固定值,Cx是所述原磁场的第一方向的分量,Cy是所述原磁场的第二方向的分量,Cz是所述原磁场的第三方向的分量。

2.一种磁场计测方法,其特征在于,

通过磁场计测装置计测计测区域的磁场,

在所述磁场计测装置中,第一方向、第二方向和第三方向相互正交,

所述磁场计测装置具备:

光源部,射出直线偏振光;

介质,电场的振动方向为所述第二方向的所述直线偏振光沿所述第三方向照射所述介质,所述介质配置于所述计测区域,使所述直线偏振光的光学特性根据磁场而变化;

光学检测器,检测所述光学特性;以及

磁场发生器,向所述计测区域施加人工磁场,

所述磁场计测方法包括:

使所述磁场发生器产生在所述第一方向和所述第二方向中的一方向的人工磁场分量为固定值的状态下改变了所述第三方向的人工磁场分量以及所述第一方向和所述第二方向中的另一方向的人工磁场分量的多个人工磁场;

基于所述光学检测器的检测结果算出磁化值或者与所述磁化值对应的值,所述磁化值是所述介质的磁化向量的所述第一方向的分量;以及

利用所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极大值条件时的人工磁场和满足极小值条件时的人工磁场,算出人工磁场为零时存在于所述计测区域的磁场即原磁场,

第一磁场是所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极大值条件时的人工磁场,

第二磁场是所述磁化值或者所述与所述磁化值对应的值满足极小值条件时的人工磁场,

所述一方向的人工磁场分量是所述第一方向的人工磁场分量,所述另一方向的人工磁场分量是所述第二方向的人工磁场分量,

算出所述原磁场包括采用下式(4)~下式(6),

其中,Apy是所述第一磁场的第二方向的分量,Avy是所述第二磁场的第二方向的分量,Apz是所述第一磁场的第三方向的分量,Avz是所述第二磁场的第三方向的分量,Afx是所述固定值,Cx是所述原磁场的第一方向的分量,Cy是所述原磁场的第二方向的分量,Cz是所述原磁场的第三方向的分量。

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