[发明专利]一种镜框基准环面平面度检测支撑装置

说明书

技术领域

本发明属于精密机械检测技术领域，具体涉及一种镜框基准环面平面度检测支撑装置。

背景技术

投影光刻物镜的镜片通常采用独立的镜框，镜框与镜框之间通过螺钉连接，并通过镜框的基准环面接触。为了提高投影物镜的装配精度，镜框的基准环面要求具有较高的平面度需求，因此需要对镜框的基准面进行高精度的平面度检测。由于检测精度要求在亚微米量级，由于镜框重力的影响，镜框检测时的支撑方式对镜框的平面度影响较大。

现有技术中通常有两种支撑方式：一种为平面支撑，该方法对平面的精度和刚度要求较高，因此会增加检测成本；另一种为三点支撑并旋转标定的方法，但该方法检测效率较低并且要求镜框具有旋转对称的特性。

发明内容

本发明的目的在于提出一种镜框基准环面平面度检测支撑装置，解决现有技术存在的检测效率低的问题，实现对镜框的支撑。

为实现上述目的，本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置包括底座、主支撑钉、辅助支撑钉、压力传感器和气动调节单元；

所述底座上端面开有环形凹槽，三个所述主支撑钉在环形凹槽内圆周均布，每相邻的两个主支撑钉之间设置有m个辅助支撑钉，每个所述主支撑钉下端与一个压力传感器螺纹连接，所述压力传感器固定在所述底座上，所述辅助支撑钉通过所述气动调节单元实现上下的调节。

所述气动调节单元包括板式微型气缸、气动三通、气动弯头和气动阀头；每个辅助支撑钉与一个板式微型气缸的推杆固定连接，每个板式微型气缸的缸筒与底座固定连接，所述板式微型气缸底部进气口与气动三通或气动弯头固定连接；所有气动三通和气动弯头通过气管首尾顺次连接；所述板式微型气缸整体通过外部气动压力源调节气压。

所述板式微型气缸中任意一个与所述气动弯头固定连接，其余的与所述气动三通固定连接，所述气动三通和气动弯头通过气管首尾顺次连接，与所述气动弯头相邻的一个气动三通通过气动阀头与所述气动压力源连接。

所述压力传感器通过所述固定筒固定在所述底座上，所述压力传感器通过传感器线接头与压力显示器连接，所述传感器线接头与所述底座固定连接。

每相邻的两个主支撑钉之间设置的辅助支撑钉的数量m的取值为：m≥1。

所述检测支撑装置还包括盖板，所述盖板设置所述环形凹槽上端与所述底座上端面平齐。

本发明的有益效果为：本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置包括三个主支撑钉和多个辅助支撑钉，待检测镜框的待检测环面向上，待检测镜框的下端面与主支撑钉和辅助支撑钉接触，三个主支撑钉与主要作用为对待检测镜框进行初始定位及提供非对称的支撑力；辅助支撑钉通过板式微型气缸实现上下调节，主要作用为对待检测镜框提供均匀的辅助支撑力以平衡三个主支撑点的支撑力。待检测镜框在测量过程中，首先由三个主支撑钉支撑镜框底部，并监测三个主支撑钉的支撑力，再由其余的辅助支撑钉对镜框底部进行辅助支撑，调整辅助支撑钉的支撑力直至三个固定支撑点的支撑力与辅助支撑点的支撑力相近。本发明采用三点固定支撑加多点柔性支撑的方式，即能够提供均匀的支撑力保证较高的检测精度，又能适应非旋转对称的镜框增加适用范围。该方案结构简单，降低了制造成本，操作方便提高了检测效率的同时也降低了对检测人员的要求。

附图说明

图1为本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置结构俯视图；

图2为本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置结构剖视图；

图3为本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置结构仰视图；

其中：1、底座，2、压力传感器，3、主支撑钉，4、传感器线接头，5、固定筒，6、板式微型气缸，7、辅助支撑钉，8、气动三通，9、盖板，10、气管，11、气动弯头，12、气动阀头，13、待检测镜框，14、待检测环面。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。

参见附图1、附图2和附图3，本发明的一种镜框基准环面平面度检测支撑装置包括底座1、主支撑钉3、辅助支撑钉7、压力传感器2、固定筒5和气动调节单元；